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일반뉴스 아이지, 반도체 플라즈마 응용 실습 장비 개발

첨단기술교육 전문기업 아이지가 반도체 플라즈마 공정 실습 장비 개발에 성공하며 새로운 장을 열었다. 지난 23일, 아이지는 반도체 제조 공정에서 핵심적인 역할을 담당하는 플라즈마 공정을 실습할 수 있는 장비를 본격적으로 공급한다고 밝혔다. 플라즈마 공정은 반도체 제조 공정의 핵심적인 요소로, 증착, 식각, 세정, 이온 임플란트 공정 등에서 중요한 역할을 한다. 플라즈마는 적은 에너지로도 빠르게 화학 반응을 유도할 수 있어 더 높은 수준의 반도체 공정 구현에 필수적이다. 이번에 개발된 아이지의 반도체 플라즈마 응용 실습 장비는 플라즈마 공정의 전반적인 설계 및 제어 실습을 지원하는 고도화된 교육 장비로, 실제 반도체 공정을 학생들이 체험할 수 있도록 설계됐다. 해당 장비는 공정 설계뿐만 아니라 제어 및 분해 조립, 레시피 제어, 테스트 등 다양한 운영 실습을 가능하게 한다. 특히 EtherNET 및 RS-232 통신을 통한 장비 제어와 데이터 서버와의 연계를 통해 효율적인 실습 환경을 제공한다. 이 장비를 통해 학생들은 웨이퍼 표면 정리, 에칭, 증착, 표면 개질, 클리닝 등 반도체 플라즈마 공정의 다양한 기능을 체험할 수 있으며, 이러한 실습은 현장형 인재

임근난 기자

2024-09-24 13:46

일반뉴스 쓰레기 매립장 가스, 이제 친환경 에너지 된다

[첨단 헬로티] 쓰레기 매립장에서 발생하는 가스를 친환경 에너지로 바꾸는 기술이 개발됐다. 환경오염을 유발했던 온실가스가 친환경 에너지로 탈바꿈한 것이다. 이번 기술은 수소를 포함한 합성가스로 변환할 수 있는 플라즈마 공정으로, 한국기계연구원(이하 기계연) 환경시스템연구본부 플라즈마연구실 이대훈 실장 연구팀이 개발했다. ▲ 쓰레기 매립장에서 발생하는 메탄과 이산화탄소 혼합가스를 바이오연료로 개질하기 위한 반응기 쓰레기 매립지에서는 쓰레기 분해에 따라 메탄과 이산화탄소가 섞인 ‘매립지 가스(LFG·Landfill gas)’가 20∼30년 동안 발생한다. 매립지 가스는 대표적인 온실가스로 꼽히지만 현재 적절한 처리방법이 없어 발생하는 대로 자연 배출되고 있다. 일부 대형 수도권 매립지에서 매립지 가스를 자원으로 활용하기 위해 스팀터빈 발전시설을 구축하고 발전에 활용하고 있다. 하지만 가스 발생량이 작은 경우 열량의 부족과 설비 효용의 문제로 발전 시설을 구축하기 힘들다. 연구팀은 매립지 가스를 합성가스로, 이를 다시 메탄올과 DME로 전환하는 가스 변환 공정을 중소 규모 매립지에 적용할 수 있도록 소형화하였다. *DME

조상록 기자

2018-06-27 14:27