첨단기술교육 전문기업 아이지가 반도체 플라즈마 공정 실습 장비 개발에 성공하며 새로운 장을 열었다. 지난 23일, 아이지는 반도체 제조 공정에서 핵심적인 역할을 담당하는 플라즈마 공정을 실습할 수 있는 장비를 본격적으로 공급한다고 밝혔다.
플라즈마 공정은 반도체 제조 공정의 핵심적인 요소로, 증착, 식각, 세정, 이온 임플란트 공정 등에서 중요한 역할을 한다. 플라즈마는 적은 에너지로도 빠르게 화학 반응을 유도할 수 있어 더 높은 수준의 반도체 공정 구현에 필수적이다.
이번에 개발된 아이지의 반도체 플라즈마 응용 실습 장비는 플라즈마 공정의 전반적인 설계 및 제어 실습을 지원하는 고도화된 교육 장비로, 실제 반도체 공정을 학생들이 체험할 수 있도록 설계됐다. 해당 장비는 공정 설계뿐만 아니라 제어 및 분해 조립, 레시피 제어, 테스트 등 다양한 운영 실습을 가능하게 한다. 특히 EtherNET 및 RS-232 통신을 통한 장비 제어와 데이터 서버와의 연계를 통해 효율적인 실습 환경을 제공한다.
이 장비를 통해 학생들은 웨이퍼 표면 정리, 에칭, 증착, 표면 개질, 클리닝 등 반도체 플라즈마 공정의 다양한 기능을 체험할 수 있으며, 이러한 실습은 현장형 인재 양성에 기여할 것으로 기대된다.
아이지는 또한 반도체 8대 공정 실습 장비를 개발해, 전문대학 및 직업대학, 마이스터고 등에 교육과정을 제공하며 교원 및 학생 연수 프로그램을 운영하고 있다. 해당 장비는 웨이퍼 제조, 산화, 포토 공정 등 반도체의 전반적인 공정 흐름을 실습할 수 있도록 설계됐다.
아이지는 앞으로도 반도체 산업 발전에 발맞춰 첨단 인재 양성에 힘을 보태며, 마이스터고와 대학, 관련 기관과의 협력을 통해 지속적으로 교육 인프라를 확대해 나갈 계획이다.
헬로티 임근난 기자 |
