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[AW 2025 프리뷰] ‘초정밀 공정 대가’ 피아이, 웨이퍼 검사, 레이저 밀봉 솔루션 등판

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독일 소재 정밀 포지셔닝 기술 업체 피아이(Physik Instrumente)가 ‘2025 스마트공장·자동화산업전(Smart Factory+Automation World 2025, 이하 AW 2025)’ 전시장에 등장한다.

 

AW 2025는 아시아 최대 규모 스마트 팩토리 및 자동화 산업 전문 전시회다. 이번 전시회는 3월 12일부터 사흘 동안 서울 강남구 삼성동 소재 전시장 ‘코엑스’ 전관에서 펼쳐진다. 올해 전시회는 500여 개 업체가 2200여 개 부스를 마련해 차세대 산업 기술·솔루션과 인사이트를 전한다. 이를 관전하기 위해 약 7만 명의 참관객이 전시장을 방문할 전망이다.

 

피아이는 압전 작동기(Piezo Actuator), 헥사포드(Hexapod), 에어 베어링 시스템, 갠트리 시스템, 모터 등 다양한 고정밀 포지셔닝 솔루션을 개발·제조하고 있다. 이번 전시장에는 PI 한국지사 피아이코리아가 부스를 꾸민다.

 

피아이코리아는 본사 기술력과 국내 레퍼런스를 바탕으로, 고객 맞춤형(Customization) 솔루션을 시장에 공급하고 있다. AW 2025에서는 이를 기반으로 한 반도체 웨이퍼 검사 시스템과 레이저 용접 기술 기반 밀봉 솔루션을 소개한다.

 

먼저, 웨이퍼 검사 시스템은 공정을 거친 웨이퍼에 대한 두께·전기 저항·표면 품질 등을 검사한다. 이 솔루션은 자사 기술을 융합한 ‘에어 베어링 XY 갠트리 스테이지(Air Bearing XY Gantry Stage)’를 활용해, 나노미터(㎚) 수준의 정밀도와 고속 공정을 지원한다. ACS 모션 제어 기능과 4축 압전 모터(Piezo Motor)를 이식해 정밀도가 강화됐다.

 

 

특히 높은 공진 주파수(Resonant Frequency)를 기반으로, 고속으로 이동하는 대상체의 추적·보정을 지원한다. 이를 통해 웨이퍼의 결함을 조기에 감지할 수 있어, 수율 손실과 비용 절감을 동시에 달성한다.

 

피아이 부스에 배치되는 또 다른 기술인 레이저 밀봉 솔루션은 레이저 용접 기술을 응용한 시스템이다. 6축 헥사포드, PIMag 로테이션 드라이브 등 자사 제품을 융합해 정밀한 용접이 가능하다. 또 레이저 스폿(Spot)의 크기·각도를 유지하면서 공정을 수행하고, 대상체의 고정·정렬 오류를 수정할 수 있다.

 

 

피아이 관계자는 “6자유도(Six Degrees of Freedom(6DOF) 기반의 핵사포드 가동성과 임의 피벗 포인트 설정 기능을 통해 안정적인 작업 수행이 가능하다”고 소개했다.

 

한편, AW 2025는 국제공장자동화전(aimex), 스마트팩토리엑스포(Smart Factory Expo), 한국머신비전산업전(Korea Vision Show) 등 세 가지 전시 테마를 구성했다. 올해 전시회 캐치프레이즈는 ‘자동화에서 자율화로(Automation to Autonomy)’로, 자율제조 시스템으로의 도약이 주요 테마다.

 

여기에 물류 최적화 방법론을 제시하는 ‘스마트물류특별관’이 배치되고, ‘CEO SUMMIT’·‘AW Docent Tours’·‘AW 오픈 이노베이션 라운드’등 부대행사가 진행된다. 이어 ‘2025 산업 지능화 컨퍼런스’, ‘지능형 로보틱스 컨퍼런스’, ‘한·중·베 로봇 융합 기술 컨퍼런스’, ‘산업용 사물인터넷 이노베이션 데이’, ‘머신비전 기술 세미나’, ‘무역협회 해외 바이어 수출 상담회’ 등 총 200여 개 세션의 콘퍼런스가 마련돼 산업 내 다채로운 혁신 방법론이 제시될 예정이다.

 

헬로티 최재규 기자 |


















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