SK하이닉스는 국내 반도체용 특수가스 기업 TEMC와 협업해 반도체 업계 최초로 네온(Ne) 가스 재활용 기술을 개발했다고 1일 밝혔다. 국제 정세 불안으로 수입에 의존해 온 네온의 수급 불확실성이 커지는 가운데 국내 소부장(소재·부품·장비) 기업과 함께 재활용 기술 개발에 나선 지 1년여 만에 이룬 성과다. 네온은 희귀 가스 중 하나로, 반도체 노광공정에 필수적인 엑시머 레이저 가스의 주요 성분이다. 네온은 레이저 광원으로 활용할 때 화학적으로 분해되거나 변형되지 않는다는 특징이 있기 때문에 한 번 사용한 네온은 불순물 제거 등의 분리·정제만 거치면 재활용이 가능하다. SK하이닉스와 TEMC는 노광공정 이후에 스크러버(반도체 생산 공정 중 발생하는 가스, 화합물 등을 걸러내고 제거하는 장치)를 통해 공기 중으로 배출되던 네온 가스를 수집 탱크에 포집하고, TEMC의 가스 처리 과정을 통해 네온만 선택적으로 분리해 정제했다. 이렇게 정제된 네온은 다시 SK하이닉스로 공급돼 반도체 제조 공정에 사용된다. 현재 네온 회수율은 72.7%에 이르며, SK하이닉스는 앞으로 지속적으로 정제수율을 개선해 네온 회수율을 77%까지 높일 계획이다. 네온 재활용 기술이 반도체
삼성전자·SK하이닉스 등 모펀드 참여, 연내 투자 개시 메모리 중심의 국내 반도체 밸류체인을 시스템 반도체 및 소부장(소재·부품·장비)으로 확장하기 위해 총 3,000억원 규모의 ‘반도체 생태계 펀드’가 본격 조성된다. 산업통상자원부는 26일 서울 YWCA 회관에서 ‘반도체 생태계 펀드’ 출범을 위한 업무협약(MOU) 체결식을 열었다고 밝혔다. 이번 펀드는 현재 운용 중인 반도체전용펀드의 높은 자금 소진율을 고려해 기존 펀드와 비교해 최대 규모인 3,000억원으로 조성된다. 모펀드 1,500억원에 민간투자자 1,500억원을 결합한다. 모펀드에는 삼성전자와 SK하이닉스가 750억원을, 성장금융·산업은행·기업은행 등 정책금융이 750억원을 투자한다. 이는 2017년 약 2,400억원으로 조성된 ‘반도체성장펀드’, 2020년 약 1,200억원으로 조성된 ‘시스템반도체상생펀드’ 모두 이달 기준 각각 90.5%, 56.2%의 소진율을 기록해 오는 2024년 소진될 전망인 점을 고려한 것이다. 또 프로젝트 투자 규모를 기존 펀드보다 상향해 유망 팹리스와 소부장 기업의 확장을 뒷받침한다. 인수합병(M&A) 활성화를 통한 기술 고도화 등도 적극 지원할 계획이다. 펀
SK하이닉스는 국내 업계 최초로 반도체 필수 원료인 네온(Ne) 가스 국산화에 성공한 후 공정 도입 비중을 40%까지 확대했다고 5일 밝혔다. 네온은 반도체 노광공정에 사용되는 엑시머 레이저 가스의 주재료다. 지금까지 국내 반도체 기업은 네온 공급을 수입에만 의존해왔다. SK하이닉스는 수급 불안 리스크를 선제적으로 해소하고자 협력사인 반도체용 가스 제조기업 TEMC, 포스코와 협력해 네온을 국내에서 생산할 방법을 찾았다. TEMC와 포스코가 기존 설비를 활용해 적은 비용으로 네온 생산 기술을 개발했다. 이를 통해 생산한 국산 네온을 SK하이닉스가 평가·검증하는 방식으로 올해 초 국산화에 성공했다. SK하이닉스는 올해 4월 국산 네온을 도입해 현재 전체 사용량의 40% 수준까지 국산으로 대체했다. 2024년에는 네온 전량을 국산품으로 대체할 예정이다. 윤홍성 SK하이닉스 FAB원자재구매담당 부사장은 "불안정한 공급 상황에서도 국내 협력사와의 협업으로 수급 안정화에 크게 기여한 사례"라며 "지속적인 협력을 통해 반도체 원재료 공급망을 강화할 계획"이라고 말했다. 헬로티 김진희 기자 |
국내 최초 네온 생산 설비와 기술 완전 국산화 성공 포스코가 국내 최초로 반도체용 희귀가스 네온(Ne)의 생산설비 및 기술을 국산화하고 첫 제품을 출하했다. 포스코는 12일 광양제철소 산소공장에서 유병옥 포스코 산업가스·수소사업부장, 이진수 광양제철소장, 유원양 TEMC(티이엠씨) 대표 등이 참석한 가운데 ‘네온 생산 설비 준공 및 출하식’을 개최했다. 준공식에서 유병옥 포스코 산업가스·수소사업부장은 “국내 강소기업인 TEMC와 협력해 산업가스 시장의 숙원 과제였던 네온의 완전한 국산화를 이뤄내 매우 뜻깊게 생각한다”라면서 “강소기업과 상생하는 ESG경영을 통해 희귀가스의 기술적 해외 의존도를 완전히 해소하고 국내 공급망 안정화에도 기여할 수 있게 됐다”라고 말했다. 최근 반도체 시장의 급성장에 따라, 반도체 생산에 필수적으로 사용되는 네온(Ne), 제논(Xe), 크립톤(Kr) 등 희귀가스의 수요 역시 가파르게 증가하고 있다. 업계에서는 2020년 약 1600억 원 규모였던 국내 희귀가스 시장이 2023년에는 약 2800억 원 규모로 확대되는 등 연평균 20%가량 성장할 것으로 전망하고 있다. 그러나 현재 국내 반도체 업계는 희귀가스를 100% 수입에 의존하
[헬로티] 포스코가 친환경 산업가스 개발과 사업화를 추진하며 신성장 동력을 본격적으로 육성한다. 포스코는 1일 유병옥 포스코 산업가스·수소사업부장, 이미혜 한국화학연구원장, 유성 RIST 원장, 유원양 TEMC 대표 등이 참석한 가운데 4자 간 컨소시엄을 발족하고 ‘低(저)온난화지수 반도체·디스플레이용 식각가스 및 냉매가스 제조기술 연구개발 협력에 관한 업무협약’을 체결했다고 밝혔다. 협약식에서 유병옥 포스코 산업가스·수소사업부장은 “포스코는 현재 제철공정에서 발생한 잉여가스를 산업용으로 판매하고 있는데, 이번 협력을 통해 향후 수요가 많이 늘어날 것으로 전망되는 친환경 가스 시장으로 사업영역을 확장하고 새로운 비즈니스 기회를 창출할 수 있을 것으로 기대한다”라고 말했다. 이미혜 한국화학연구원 원장 역시 “한국화학연구원은 화학분야 국내 유일 출연연구원으로서 국가 탄소중립 달성을 위한 다양한 기술 개발 연구를 수행하고 있다. 화학연의 연구역량과 포스코, RIST, TEMC와의 협력을 바탕으로 관련 기술 상용화를 촉진하고 국가 온실가스 감축 기여를 앞당길 수 있기를 기대한다”라고 협력에 대한 기대감을 밝혔다. 산업가스란 제조업, 반도체, 석유화학 등 다양한 산업
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UPDATE: 2024년 11월 22일 17시 59분
