벤자민 로 CEO "이번 투자는 한국에 대한 우리의 약속이자 사업을 성장시키려는 포부" ASM이 24일 경기도 화성시에서 제2제조연구혁신센터의 기공식을 성공적으로 개최했다고 밝혔다. ASM은 지난 2월 산업통상자원부와 체결한 MOU 이행 방안으로 한국에서 기술 고도화와 지속적인 혁신을 위해 1억 달러를 투자할 계획이다. 기공식에는 김동연 경기도지사, 정명근 화성시장, 김완기 산업통상자원부 무역투자실장, 양향자 국회의원, 김경희 화성시의회 의장, 신미숙 경기도의회 의원을 비롯해 요아나 도너바르트(Joanne Doornewaard) 주한 네덜란드 대사, 삼성전자, SK하이닉스, 코트라 인베스트코리아 관계자 등 150여명의 정재계 주요 인사들이 참석했다. ASM에서는 벤자민 로(Benjamin Loh) ASM CEO, 폴린 반더미어모(Pauline Van der Meer Mohr) ASM 이사회 의장, 김용길 ASM 한국지사 에이에스엠케이 회장이 함께 했다. 현재 ASM 화성 연구 개발·제조 센터는 약 2만m2 규모로, 이번 증축으로 3만1000m2 규모의 8층 건물이 새롭게 추가된다. 시설 확장에 따라 ASM 한국 내 직원 수도 점차 늘어날 전망이며, ASM 화
"첨단 반도체 수요 증가에 대응하기 위한 중요한 확장 전략의 출발점" ASM이 23일 조선 팰리스 서울 강남에서 국내 첫 기자간담회를 갖고 경기도 화성시에 제2제조연구혁신센터 확장 발표 및 지속적인 국내 투자 확대를 약속했다. ASM 기자간담회에는 벤자민 로(Benjamin Loh) ASM CEO와 한국지사인 에이에스엠케이의 김용길 회장이 참석했다. 벤자민 로 CEO는 ASM의 국내 사업 전략 및 계획, 국내 투자 현황을 설명하며, 한국의 중요성에 대해 거듭 강조했다. ASM은 1989년부터 한국에서 사업을 운영해온 글로벌 반도체 기업이다. 1995년 자회사인 에이에스엠케이㈜를 설립하고 한국을 ASM의 핵심 기술 개발 및 제조 지역으로 성장시켰다. 지난 6년 연속 두 자리 수 성장을 기록해온 ASM은 여러 국가에서 활동을 추진하고 있다. 특히 미국, 싱가포르, 한국은 R&D와 제품 개발 및 제조 영역에 있어 ASM의 비즈니스를 주도하는 국가로 꼽힌다. 우리나라는 ASM의 플라즈마원자층증착(PEALD) 사업의 글로벌 중심지이기도 하다. 이에 ASM은 지난 2월 산업통산자원부와 1억 달러 규모 투자 협약을 맺었으며, 오는 24일에는 경기도 화성에서 제2제
ALD 공정에 기여하는 밸브 제어 시스템 생산량을 극대화해야 하는 과제와 함께 최신 마이크로칩 생산에 필요한 공정은 점점 복잡해지고 정밀해지고 있습니다. 그렇기에 반도체 생산업체들은 보다 면밀한 공정 제어를 추구합니다. 반도체 생산 수율을 최적화하려면 원자층 증착(ALD)과 같은 생산 공정에서 성능 오차가 더 미세해야 합니다. 즉, 최적 생산성의 ALD 공정에는 정밀한 화학물질 투여 및 공급 시스템이 필수적입니다. 잘 설계된 밸브 제어 시스템이 이 공정에 기여할 수 있습니다. 반도체 석학들이 마주하고 극복했던 중요한 수수께끼가 기술의 지속적인 혁신에 전환점이 되었던 그 이유를 파헤쳐보겠습니다. 반도체 산업의 간략한 역사 반도체 산업은 1960년대 실리콘 밸리에서 시작됐습니다. 1990년대 후반에 이르러 과학계는 반도체 칩 하나당 트랜지스터 수가 2년마다 두 배가 될 것이라고 예측한 무어의 법칙이 곧 한계에 부딪힐 것으로 예상했습니다. 이는 소자에 사용되는 기존 유전체 층의 기술적 한계와 관련이 있으며, 업계는 SiO2를 대체할 유전체 재질이 곧 필요하게 될 것임을 알았습니다. 하지만 이미 SiO2는 증식이 편리하고 실리콘 웨이퍼상에서 탁월한 정밀도와 균일도를
Ultra Fn A 퍼니스 장비, 중국 내 상위 파운드리 고객에 인계 ACM 리서치가 자사의 300mm Ultra Fn 퍼니스 건식 처리 플랫폼상에서 개발된 신규 Ultra Fn A 퍼니스 장비를 선보였다. Ultra Fn A 퍼니스 장비는 특히 열 원자층 증착(thermal ALD) 기능을 새롭게 추가했는데, 이를 통해 ACM 리서치 퍼니스 장비의 지원 범위가 더욱 확장됐다. 이 퍼니스 장비는 중국 내 상위 파운드리 제조사에 이미 인계됐으며, 2023년에 인증 절차가 완료될 것으로 예상된다. ACM의 데이비드 왕 CEO 겸 사장은 “로직 노드가 계속 축소됨에 따라 반도체 제조사는 ALD 같은 고급 공정에 요구되는 장비 요건을 충족할 수 있는 협력사를 찾고 있다”고 말했다. 덧붙여 “ALD는 최신 노드 제조에서 가장 빠르게 성장하는 기술 중 하나로서, ACM 퍼니스 포트폴리오의 새로운 핵심 기능”이라고 설명했다. 그는 또한 “전체 반도체 제조 공정에 대한 깊이 있는 전문성과 혁신 역량을 바탕으로, ACM은 신규 시장의 요구사항을 충족하는 ALD 기능을 빠르게 개발할 수 있었다. 새로운 ALD 장비는 대기, 저압, 진공 기능을 포함하는 ACM의 확장된 퍼니스
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