엠비젼이 SWIR 이미징을 위한 SWIR 조명 개발에 성공했다고 밝혔다.
최근 자동차, AI 등 다양한 분야에서 다기능·고집적 반도체에 대한 수요가 폭발적으로 늘어나면서 고집적화와 기판 대형화가 계속되고 있다. 이로 인해 반도체 패키지와 웨이퍼의 보이지 않는 결함을 검출하기 위한 비전검사 시스템에 대한 수요도 함께 증가하고 있다.
반도체 패키지나 웨이퍼 내부의 크랙 등 일반적인 비전검사 시스템에서는 볼 수 없는 결함을 검출하기 위해 최근 SWIR 카메라가 인기를 끌고 있다. 이번에 엠비젼이 개발한 솔루션은 SWIR 카메라와 함께 사용할 경우 결함 검출력을 크게 향상할 수 있는 SWIR 조명이다.
엠비젼의 SWIR 조명은 동축 스폿조명, 면조명, 돔조명으로 개발됐다. 파장은 1100과 1200, 1300, 1450, 1550, 1650(nm)로 다양하게 구성되어 있어 사용자가 필요한 파장을 선택해 편리하게 적용할 수 있다.
적외선의 회절현상을 고려해 최적의 설계로 개발한 SWIR 렌즈 역시 0.5X, 0.7X, 1.0X로 출시되어 있다. SWIR 카메라를 중심으로 SWIR 조명과 렌즈를 시스템으로 구성해 반도체와 웨이퍼 내부 결함에 대한 검출력을 획기적으로 향상할 수 있다는 것이 엠비젼 측의 설명이다.
이와 관련해 엠비젼 관계자는 “엠비젼의 고유 기술을 적용해 개발한 SWIR 조명과 렌즈는 시스템으로 구성되어 반도체 후공정 업체에 납품됐다”면서 “해당 솔루션에 대한 관심이 국내는 물론 글로벌 시장에서도 충분한 만큼 해외 수출도 준비하고 있다”고 말했다.
헬로티 김재황 기자 |
