모터·로봇·시스템 아우르는 반도체 자동화 솔루션 총출동
반도체 생산 현장 겨냥한 맞춤형 자동화 기술 대거 공개
인아그룹이 오는 2월 11일부터 13일까지 서울 코엑스에서 열리는 SEMICON Korea 2026에 참가해 반도체 산업을 겨냥한 자동화 솔루션을 대거 선보인다. 이번 전시에는 인아오리엔탈모터, 인아텍앤코포, 애니모션텍, 인아엠씨티 등 그룹 내 4개 계열사가 공동 참여한다.
국제반도체장비재료협회(SEMI)가 주최하는 SEMICON Korea는 첨단 반도체 기술과 차세대 제조 공정을 조망하는 글로벌 전시회다. 올해는 550여 개 기업이 참가해 반도체 제조 기술과 솔루션을 소개할 예정이다.
인아그룹은 올해 새롭게 수립한 중장기 경영 미션 ‘Performance Everywhere’를 바탕으로, 이번 전시 콘셉트를 ‘Driving Tomorrow with Performance’로 설정했다. 모터, 로봇, 시스템을 아우르는 자동화 역량을 통해 반도체 산업의 미래 생산 환경을 제시하겠다는 의미다.
인아오리엔탈모터는 반도체 업계의 소형·경량화 트렌드에 대응한 모션 솔루션을 전면에 내세운다. 소형 로봇 KOVR을 중심으로, 3축 커버형 스카라 로봇과 전동 승강 장치를 활용한 기판 검사 데모기를 새롭게 선보인다. 이와 함께 고성능 서보 모터 KXR Series와 BLDC 모터 BLS Series 750W 등 신규 모터 제품도 전시된다.
인아텍앤코포 CORP 사업부는 반도체 고객 환경에 맞춘 맞춤형 로봇·구동 솔루션을 소개한다. 고속 웨이퍼 반송 로봇 GTFR과 STCR을 비롯해, 협동로봇과 연동한 자동화 데모를 통해 실제 공정 적용 가능성을 강조한다. 전동 액추에이터, 감속기, BLDC 데모 키트 등 장비 설계 효율을 높일 수 있는 제품도 함께 선보일 예정이다.
TECH 사업부는 차세대 자율주행 로봇 ‘OMNIA’를 중심으로 부스를 구성했다. 다방향 주행이 가능한 구조와 주문형 설계를 통해 복잡한 반도체 생산 환경에 대응할 수 있는 점이 특징이다. 이종 로봇을 통합 제어하는 웹 기반 ACS 솔루션도 함께 소개된다.
애니모션텍은 초정밀 제어 기술을 강점으로 내세운다. 스테이지와 스캐너를 연동하는 IFOV 기능과 위치 기반 트리거 기능을 구현한 레이저 스캐너 데모, 에어 베어링 스테이지 등 정밀 검사 및 레이저 공정에 특화된 장비를 전시한다.
인아엠씨티는 반도체 공정 적용도가 높은 시스템 자동화 데모를 선보인다. 협동로봇을 활용한 디팔레타이징, 웨이퍼 이송·세척 공정 데모를 통해 현장 중심의 자동화 적용 사례를 제시한다. 신규 컨트롤러, 스마트 프레스 키트, 방폭 모터 등 다양한 산업용 제품도 함께 공개된다.
인아그룹 관계자는 “SEMICON Korea 2026은 반도체 산업 고객들에게 인아그룹의 확장된 자동화 역량을 직접 소개하는 자리”라며 “모터부터 로봇, 시스템까지 연결된 자동화 솔루션을 통해 반도체 공정의 효율과 안정성을 높이는 데 기여하겠다”고 밝혔다.
헬로티 임근난 기자 |
