원자현미경(AFM)보다 최대 100배 빠른 계측 속도 구현하는 RPM 탑재
영국의 반도체 계측 기업 인피니티시마(Infinitesima)가 SK하이닉스에 고속 3차원 계측 시스템 ‘Metron3D’를 대량 생산(HVM) 라인에 설치했다. 이 시스템은 서브 나노미터 수준의 정밀도를 바탕으로, 차세대 메모리 디바이스 제조에 필수적인 3D 공정 제어를 제공하는 장비로 평가받고 있다.
Metron3D는 단순한 계측 장비를 넘어, 기존 원자현미경(AFM)보다 최대 100배 빠른 계측 속도를 구현하는 인피니티시마 고유의 기술 ‘RPM(Rapid Probe Microscope)’을 기반으로 한다. 특히 완전 자동화된 웨이퍼 핸들링과 데이터 처리 기능을 갖춰 생산 라인에 최적화된 구조를 갖췄다. 이번 도입은 여러 공정 단계에 걸친 성능 평가와 특성화 작업을 거쳐 결정됐다.
SK하이닉스 최영현 선임(DMI 담당)은 “차세대 DRAM 공정에서 나노미터 단위의 3차원 구조를 정밀하게 계측하는 것은 고수율 확보에 중요하다”며 “Metron3D는 비용 효율성과 계측 성능을 동시에 갖춘 시스템으로, 대량 생산 라인에서 효과를 입증했다”고 설명했다.
인피니티시마는 차세대 반도체 공정이 복잡해지고 미세화됨에 따라 기존 광학 및 전자빔 방식의 한계를 보완할 수 있는 솔루션으로 RPM 기반 Metron3D를 선보였다. 이 기술은 원자력 현미경의 표면 탐지 능력에 고속 레이저 활성화 및 정밀 간섭계 기술을 결합해, 서브 나노미터 3D 계측을 실시간으로 수행할 수 있다.
회사 측은 이번 SK하이닉스의 양산 적용이 자사의 기술 역량을 글로벌 메모리 제조 현장에서 입증하는 계기가 됐다고 평가했다. 인피니티시마 피터 젠킨스 회장 겸 CEO는 “SK하이닉스와의 긴밀한 협업 덕분에 Metron3D가 신속하게 평가를 마치고 실제 생산에 적용될 수 있었다”며 “양사 간의 기술 파트너십이 장기적으로 확장되길 기대한다”고 말했다.
현재 반도체 제조 현장은 미세 공정의 복잡도 증가에 따라 더욱 높은 해상도와 속도를 갖춘 3D 계측 솔루션을 필요로 하고 있다. 인피니티시마는 자사의 특허 기술을 바탕으로 이 같은 수요에 대응하며, 글로벌 반도체 장비 시장에서 입지를 빠르게 확대해 나가고 있다.
헬로티 서재창 기자 |
