일반뉴스 램리서치, 웨이퍼 제조장비 유지보수 수행하는 협동로봇 발표

장비 다운타임과 생산 변동성 최소화 및 한계 수율 개선 실현 램리서치는 오늘 웨이퍼 제조 장비의 유지 보수 작업 최적화를 위해 설계된 협동로봇 '덱스트로(Dextro)'를 출시했다고 발표했다. 덱스트로는 현재 전 세계 여러 첨단 웨이퍼 팹에 배치돼 정밀한 유지 보수를 통해 장비 다운타임과 생산 변동성을 최소화하는 한편, 최초 작업 성공(FTR, First-Time-Right) 결과를 통해 한계 수율을 개선하고 있다. 나노 단위의 정밀도가 필요한 만큼 반도체 제조 장비에는 첨단 물리학, 로봇 공학 및 화학 기술 등이 활용된다. 이 때문에 웨이퍼 팹에는 정기적으로 정교한 유지 보수를 필요로 하는 수백 개의 공정 장비들이 설치되어 있다. 덱스트로는 서브미크론(1㎛ 미만) 정밀도를 요구하는 중요한 유지 보수작업을 반복적으로 실시함으로써 장비의 비용 효율성을 향상하도록 설계된 스마트 솔루션이다. 램리서치의 스마트 솔루션에는 자동 보정 및 자가 적응 유지 보수 기능을 통해 팹 운영의 정확성과 안정성을 제공하는 램리서치 장비 인텔리전스 공정 툴은 물론 데이터, 머신러닝, 인공지능, 램리서치의 전문 지식을 활용해 생산성 향상을 달성하는 장비 인텔리전스 서비스도 포함된다.

• 서재창 기자
• 2024-12-11 14:01