반도체 지멘스, AI 기반 계측 혁신 기업 ‘카노푸스 AI’ 인수… 반도체 제조 정밀도 높인다

EDA 포트폴리오에 AI 계측·검사 기술 통합해 ‘디지털 스레드’ 확장… 첨단 공정 수율 향상 및 양산 시간 단축 기대 지멘스가 AI 기반 반도체 계측 솔루션 스타트업을 전격 인수하며 차세대 반도체 제조 시장의 주도권 강화에 나섰다. 지멘스 디지털 인더스트리 소프트웨어는 프랑스의 혁신 기업 ‘카노푸스 AI(Canopus AI)’를 인수하고, 자사의 전자설계자동화(EDA) 포트폴리오에 인공지능 기반의 계산 계측 및 검사 기술을 통합한다고 발표했다. 이번 인수로 지멘스는 나노미터 단위의 초미세 공정에서 필수적인 고정밀 디지털 트윈 비전을 한층 구체화할 수 있게 됐다. 반도체 소자 구조가 극도로 미세해지면서 기존의 방식으로는 품질과 수율을 확보하는 데 한계가 있었다. 카노푸스 AI는 2021년 설립 이후 AI를 활용해 계측(Metrology)과 검사(Inspection) 워크플로우를 하나로 잇는 ‘메트로스펙션(Metrospection)’ 기술을 선도해왔다. 지멘스는 카노푸스 AI의 기술을 자사 리소그래피 및 물리 시뮬레이션 툴인 ‘Calibre(칼리버)’ 포트폴리오에 결합할 예정이다. 이를 통해 웨이퍼 패턴의 정확도를 개선하고, 제조 과정에서 발생하는 기술적 과제

• 김진희 기자
• 2026-02-06 16:03