간단한 탐침 구조로 측정 면적 및 속도 향상 기여 하나의 뾰족한 바늘인 탐침을 이용하여 3차원 이미지를 얻을 수 있는 주사 탐침 현미경(SPM). 여기에 100여개 탐침을 도입하여 그 성능이 더 좋아진 현미경을 국내 연구진이 개발하였다. 한국연구재단은 연세대학교 심우영 교수 연구팀이 캔틸레버 없는 간단한 탐침구조를 이용한 다중 탐침 주사 탐침 현미경을 개발했다고 밝혔다. 주사 탐침 현미경은 뾰족한 탐침을 이용해 시료를 훑으며 표면의 미세한 3D 형상을 측정하는 장비인데, 이는 단일 원자 수준의 높은 분해능을 장점으로 현재 나노과학의 핵심 측정 기술로 활용되고 있다. 하지만, 기존 주사 탐침 현미경은 하나의 탐침으로 전체 표면을 측정하는 특성상 측정 면적과 속도가 제한적인 단점이 있어, 국소 면적을 측정하는 단순 연구용으로는 활발히 사용되어 왔으나 산업적으로 활용되기에는 제약이 있었다. 측정 면적을 넓히기 위해서는 탐침의 개수 또한 늘려야 하지만, 기존의 캔틸레버 기반 탐침은 구조가 복잡하여 여러 개의 탐침으로 제작하기가 어려웠다. 이에, 연구팀은 캔틸레버가 없는 간단한 구조의 다중 탐침 어레이(Cantilever-free tip array)와 이를 표면 측정
헬로티 조상록 기자 | ACM리서치가 자사 최초의 300mm싱글 웨이퍼 과산화황 혼합물 시스템(Sulfuric Peroxide Mixture system, SPM) 장비를 출시했다. 이 장비는 첨단 로직, DRAM, 3D-NAND 칩, 기타 집적 회로 제조의 습식 세정 및 식각(etching) 공정에 널리 사용할 수 있으며 특히 고용량 이온을 활용한 포토레지스트 제거 공정과 금속 식각 및 스트립 공정에 적합하다. 이 제품은 기존 ACM리서치의 SPM 공정 제품을 확장한 것으로 10nm 이하의 첨단 공정에서 고온의 단계를 추가해 더욱 다양하고 세밀한 온도 단계를 지원한다. 이번에 개발한 싱글SPM 장비는 당사의 Ultra C Tahoe 장비를 기반으로 한다. 기존 Ultra C Tahoe 장비는 정상 온도에서 대부분의 SPM 공정단계를 지원하고 있으며, 이번 장비는 거기에 고온 SPM의 공정능력을 추가했다. 오늘날 대부분의 SPM 습식 공정은 145°C 미만의 황산 및 과산화수소를 혼합하며 PR 제거 및 식각 후 세정 공정, 중간 용량의 이온 주입 및 CMP(Chemical Mechanical Polishing) 후 세정 공정에 널리 사용된다. 2018년에 소
[첨단 헬로티] 순수 국내 기술로 경쟁하는 와이어컷 방전가공기 제조기업 SPM은 26년간 와이어컷 방전가공기 개발과 생산에 주력해온 기업이다. 지난 1993년 설립된 SPM은 순수 국내 기술을 원천으로 고정밀의 와이어컷 방전가공기를 생산하며, 국내외 시장에서 장비와 서비스에 관한 호평을 받고 있다. ▲SPM 임종석 대표 SPM 소개를 부탁드립니다. 지난 1993년 설립된 SPM은 현재까지 26년간 와이어컷 방전가공기 개발과 생산에 주력해왔습니다. 그동안 당사 고객의 성원에 힘입어 한 차원 높은 와이어컷 방전가공기를 만들고자 노력했습니다. 특히 저희 회사는 외국과의 기술 제휴 없이 순수 국내 기술력으로 와이어컷 방전가공기를 개발했고, 외국 제품이 지배하던 국내 시장에 우수한 경쟁력과 품질로 국내 유일의 와이어컷 방전가공기를 생산하는 기업으로 자리매김했습니다. 제조업의 근간인 공작기계 분야에서 우수한 기술력으로 자체 개발한 장비와 브랜드는 외국제품과 국내 경쟁은 물론이고 해외에 수출하는 상품으로 도약하고 있죠. 한편, 자체 기업부설 연구소에서는 새로운 기술을 개발하기 위해 많은 노력을 기울이고 있습니다. 개발한 기술로 반도체와 전기·전자, 금형 제조
전년대비 20% 성장…오토데스크 디지털 제조그룹 중 최고 매출 기록 한국델켐은 오토데스크가 주최한 ONE TEAM CONFERENCE 행사 3일차에 열린 Partner Awards에서 Best Overall Partner상을 수상했다고 밝혔다. Best Overall Partner상은 지난해 오토데스크 전세계 디지털 제조그룹 파트너사 중에서 전체 최고 매출을 기록한 파트너상에게 주어지는 상이다. 2015년 한국델켐의 매출은 로열티 기준으로 전년대비 20% 성장률을 달성했고, 북미, 유럽지역에 비해 비교적 작은 시장 규모에도 불구하고 전세계 디지털 제조그룹의 평균 매출을 뛰어넘는 성장세를 기록하여 파트너사들의 관심을 집중시켰다. 한국델켐은 2014년 초 델켐 주최로 진행됐던 SPM(Sales Partner Meeting)에서도 전세계 PowerMILL과 PowerSHAPE 매출이 가장 큰 파트너사에게 주어지는 Best PowerMILL 2014와 Best PowerSHAPE 2014를 동시에 수상하기도 했다. 오토데스크의 델켐 인수 합병이 체결된 이후 델켐을 포함한 디지털 제조그룹의 2015년 매출은 전년대비 16%의 성장을 기록하며 양사 간 합병
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