최신뉴스 ACM 리서치, 건식 공정 시장 진출…신제품 ‘울트라 퍼니스’ 공개

[첨단 헬로티] 글로벌 반도체 장비 기업 ACM 리서치(ACM Research, Inc.)가 건식 공정 애플리케이션을 위해 개발된 첫번째 장비 ‘울트라 퍼니스(Ultra Furnace)’를 공개했다. 울트라 퍼니스는 기본적으로 LPCVD(low-pressure chemical vapor deposition)에 높은 성능을 제공하도록 최적됐었으며, 동일한 플랫폼을 이용해 산화공정(Oxidation), 어닐링(Annealing, 열처리 공정)을 비롯해 ALD 공정에도 적용될 수 있다. 본 개발은 중국과 한국에 위치한 ACM R&D팀간의 2년간의 협업의 성과로 이뤄졌다. ACM 리서치의 데이비드 왕(David Wang) CEO는 “첨단 기술 노드는 장비 공급 업체들에게 혁신이 필요한 지속적인 과제를 제시한다. 이러한 요구들이 있는 환경은 ACM에 상당한 기회의 장이 되고 있다"며 “지속적인 혁신은 바로 ACM의 DNA에 있다. 우리 기술을 통해 이점을 누릴 수 있는 시장의 니즈를 확인함으로써 새로운 시장 영역으로 사업을 더욱 확장하게 됐다. 기존에 구축된 습식 공정 장비 포트폴리오에 울트라 퍼니스를 추가하고 고객사

• 이나리 기자
• 2020-05-11 13:42