ACM 리서치는 반도체 제조 전공정 분야를 지원하기 위해 설계된 자사 최초의 Ultra Lith KrF 트랙 시스템을 출시하고, 중국 로직 웨이퍼 팹 고객사에 첫 장비를 출고했다고 밝혔다. 이 시스템은 ACM의 리소그래피 제품 라인을 확장하는 장비로 높은 생산성, 첨단 열 제어, 실시간 공정 제어 및 모니터링 기능을 제공한다. Ultra Lith KrF 트랙은 ACM ArF 트랙 플랫폼의 검증된 아키텍처와 공정 성과를 기반으로 개발됐다. ArF 플랫폼은 2024년 말 중국 주요 고객사와의 데모 라인 검증에서 옹스트롬 이하 수준의 코팅 균일도, 첨단 열 제어, ASML 스캐너와 부합하는 CD 매칭 성능을 입증한 바 있으며, 이는 KrF 설계 최적화의 토대가 됐다. 데이비드 왕 ACM 리서치 CEO는 “KrF 리소그래피는 성숙 공정 노드 디바이스 제조에 여전히 필수적이며, 그 수요는 전 세계 반도체 생산에서 점점 커지고 있다”며 “ArF와 KrF 트랙을 동시에 제공함으로써 팹 내 원활한 통합과 더 높은 제조 유연성을 지원한다”고 말했다. 새로운 Ultra Lith KrF 트랙 시스템은 12대의 스핀 코터와 12대의 디벨로퍼(12C12D)로 구성된 공정 모듈과 5
CMP패드, 블랭크 마스크 등 반도체 전공정용 고부가 소재사업 확장 계획 밝혀 SKC의 반도체 소재 사업 투자사 SK엔펄스가 반도체 전공정 기초 소재 사업을 매각한다. SK엔펄스는 12일 이사회를 열고 중국에서 운영 중인 웨트케미칼 사업을 현지 반도체·디스플레이 소재 회사 야커테크놀로지에, 세정사업은 투자 회사인 선양신진에 각각 매각하기로 결정했다고 13일 밝혔다. 매각 대상은 SK엔펄스가 보유한 웨트케미칼 사업 법인 지분 75%와 세정사업 법인 지분 90%로, 약 880억 원 규모다. SK엔펄스는 이사회 직후 야커테크놀로지, 선양신진과 각각 주식매매계약(SPA)을 체결했다. 웨트케미칼 사업을 인수하는 야커테크놀로지는 중국 선전증권거래소에 상장된 기업으로 반도체·디스플레이용 특수가스, 포토레지스터 사업을 운영 중이다. 선양신진은 반도체 공정용 장비·부품 투자사를 보유했다. 이번 매각은 고부가 반도체 소재·부품을 중심으로 사업을 재편하기 위한 취지다. 올해 초 반도체 소재·부품 사업을 SK엔펄스로 통합한 SKC는 CMP패드, 블랭크 마스크 등 반도체 전공정용 고부가 소재사업을 확장하고 있다. 반도체 후공정 사업에도 진출한다. 지난달 반도체 테스트 솔루션 분야
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UPDATE: 2025년 09월 12일 17시 23분
