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반도체 우프틱스, Phemet 인라인 웨이퍼 계측 솔루션 출시

반도체 파면 위상 이미징(WFPI) 기술의 선도 기업 우프틱스(Wooptix)가 나노미터 이하의 초고분해능으로 웨이퍼 형상과 기하구조를 실시간 측정하는 인라인 계측 솔루션 ‘Phemet(페멧)’을 공식 출시했다. 우프틱스는 이달 21일까지 독일 뮌헨에서 개최되는 SEMICON Europa 전시회에서 Phemet을 첫 공개하며 글로벌 반도체 제조사의 주목을 받고 있다. 이번 신제품은 차세대 3D 적층 반도체, HBM, 3D NAND 등 공정 허용 오차가 극도로 낮아지는 제조 환경에서 인라인 계측의 새로운 기준을 제시한다는 평가를 받는다. Phemet의 가장 큰 특징은 단일 이미지에서 초당 1,600만 개 이상의 데이터 포인트를 서브나노미터 분해능으로 포착하는 속도와 정밀도다. 웨이퍼의 휨·뒤틀림·나노토포그래피 등 복잡한 형상까지 실시간으로 파악할 수 있어, 메모리·로직 디바이스뿐 아니라 하이브리드 본딩 구조에도 적합하다. 특히 단일 측정으로 전체 실리콘 웨이퍼의 형상 정보를 확보할 수 있어 공정 엔지니어가 오버레이 오차나 수율 저하 원인을 빠르게 분석하고 조치할 수 있다는 점이 강점이다. 우프틱스는 자체 개발한 WFPI 기술을 기반으로 웨이퍼 표면의 빛 분포를

김재황 기자

2025-11-20 21:31

반도체 인피니티시마, SK하이닉스 차세대 D램에 고속 3D 계측 도입

원자현미경(AFM)보다 최대 100배 빠른 계측 속도 구현하는 RPM 탑재 영국의 반도체 계측 기업 인피니티시마(Infinitesima)가 SK하이닉스에 고속 3차원 계측 시스템 ‘Metron3D’를 대량 생산(HVM) 라인에 설치했다. 이 시스템은 서브 나노미터 수준의 정밀도를 바탕으로, 차세대 메모리 디바이스 제조에 필수적인 3D 공정 제어를 제공하는 장비로 평가받고 있다. Metron3D는 단순한 계측 장비를 넘어, 기존 원자현미경(AFM)보다 최대 100배 빠른 계측 속도를 구현하는 인피니티시마 고유의 기술 ‘RPM(Rapid Probe Microscope)’을 기반으로 한다. 특히 완전 자동화된 웨이퍼 핸들링과 데이터 처리 기능을 갖춰 생산 라인에 최적화된 구조를 갖췄다. 이번 도입은 여러 공정 단계에 걸친 성능 평가와 특성화 작업을 거쳐 결정됐다. SK하이닉스 최영현 선임(DMI 담당)은 “차세대 DRAM 공정에서 나노미터 단위의 3차원 구조를 정밀하게 계측하는 것은 고수율 확보에 중요하다”며 “Metron3D는 비용 효율성과 계측 성능을 동시에 갖춘 시스템으로, 대량 생산 라인에서 효과를 입증했다”고 설명했다. 인피니티시마는 차세대 반도체 공정이

서재창 기자

2025-07-10 10:48