일반뉴스 키사이트, 전력 반도체용 고전압 웨이퍼 테스트 시스템 출시

키사이트테크놀로지스가 반도체 테스트 포트폴리오를 확장하는 4881HV 고전압 웨이퍼 테스트 시스템을 출시했다고 12일 밝혔다. 이 솔루션은 고전압과 저전압 테스트를 한 번에 수행할 수 있는 최대 3kV의 파라메트릭 테스트 기능을 제공해 전력 반도체 제조업체의 생산성과 효율성을 높인다. 전통적으로 제조업체는 고전압과 저전압 테스트를 위해 별도의 장비를 사용했다. 하지만 다기능성, 고성능, 차세대 소자인 실리콘 카바이드(SiC)와 갈륨 나이트라이드(GaN)로 인해 전력 반도체에 대한 수요가 빠르게 늘어나고 있다. 이에 따라 더 정확하고 효율적으로 디바이스를 테스트하면서 출시 시간을 줄일 수 있는 솔루션이 필요한 상황이다. 키사이트의 새로운 테스트 시스템은 이런 문제를 해결하면서 제조 공정에서 프로세스 제어 모니터링(PCM)과 웨이퍼 승인 테스트(WAT)를 수행할 수 있도록 설계됐다. 이 시스템은 고전압 스위칭 매트릭스(HV-SWM)를 사용해 최대 3kV의 요구를 충족하며 최대 29개의 핀으로 확장할 수 있고 정밀한 소스 측정 장치(SMU)와 통합돼 있다. 이로써 초미세 전류부터 3kV 전압까지 폭넓은 범위의 측정을 지원한다. 또한 HV-SWM은 고전압과 저전압

• 이창현 기자
• 2024-12-12 10:06