프로덕트 ASM, 듀얼 챔버 플랫폼 'PE2O8 SiC 에피택시 시스템' 발표

6인치·8인치 웨이퍼 모두 호환 지원...싱글 웨이퍼 SiC 에피택시 시스템 포트폴리오 확장 ASM이 새로운 듀얼 챔버 플랫폼인 'PE2O8 실리콘 카바이드 에피택시 시스템(PE2O8 Silicon Carbide Epitaxy System 이하 PE2O8 시스템)'을 공식 출시했다. 전기차, 친환경 에너지, 데이터센터 등 고전력, 고효율 기술을 요하는 산업 시장이 세계적으로 부상하며 실리콘 카바이드(SiC) 반도체가 필수적인 요소로 자리 잡은 가운데, SiC 수요와 비용 절감 필요성이 증대돼 생산량을 늘릴 수 있는 8인치 SiC 기판으로 전환이 이뤄지고 있다. SiC 소자 제조 기업들은 SiC 에피택시 시스템의 이점을 활용하기 위한 고전력 소자를 설계하고 있다. 이러한 환경에 맞춰 새롭게 선보인 ASM의 PE2O8 시스템은 6인치와 8인치 웨이퍼 모두 호환 지원함으로써 기존 자사 싱글 웨이퍼 SiC 에피택시 시스템(6인치 PE1O6 및 8인치 PE1O8) 포트폴리오를 확장했다. 첨단 SiC 전력 반도체 소자 부문을 위해 설계된 PE2O8은 높은 공정 균일성과 생산성, 낮은 운영비용 및 정밀한 결함 관리가 특징인 대표적인 에피택시 시스템이다. 독자적인 설계 방

• 서재창 기자
• 2024-10-31 15:41