테크노트 DGIST, 초박막 나노메쉬 전극 개발...통기성 전자피부 구현 앞당겨
DGIST는 화학물리학과 이성원 교수 연구팀이 한밭대학교 강현일 교수, 경북대학교 노종욱 교수 연구팀과 공동으로 반도체 제조에 사용되는 전사 기술을 응용해 통기성 나노메쉬 기판 위에 고해상도 전자피부 기기를 구현하는 데 성공했다고 밝혔다. 전자피부는 건강 모니터링이나 생체 신호 측정을 위해 인체나 살아있는 조직 표면에 밀착되는 초박형 전자기기다. 이러한 전자피부가 효과적으로 작동하기 위해서는 피부 굴곡을 그대로 따라가는 ‘등각 접촉(conformal contact)’이 가능해야 하며, 장시간 부착해도 땀이나 습기가 빠져나가지 못해 발생하는 피부 자극이나 염증을 최소화할 수 있도록 높은 통기성을 확보하는 것이 중요하다. 이 때문에 고분자 나노섬유가 그물처럼 얽힌 구조의 나노메쉬 기판은 뛰어난 통기성 덕분에 차세대 전자피부 소재로 주목받고 있다. 하지만 나노메쉬 표면은 섬유가 얽혀 있어 구조적으로 거칠고, 고분자 소재 특성상 열에 약해 고온에서 이뤄지는 정밀 미세 공정을 적용하기 어렵다는 한계가 있었다. 이러한 이유로 실제 전자 소자 제작에는 제약이 많았다. 연구팀은 이 구조적 문제를 해결하기 위해 반도체 소자 제작에서 활용되는 전사 기술을 나노메쉬 구조에 맞게