테크노트 플라즈마 질화에 의한 T 다이의 고경도화와 이형성 향상
[첨단 헬로티] 1. 서론 수지 필름 및 시트의 제작에는 T 다이라고 불리는 슬릿 모양의 토출구가 있는 꼭지쇠가 이용되고, 용융 수지가 압출된다. 특히 광학 용도로 이용되는 수지 필름 및 시트는 표면 형상이 광학특성을 좌우하기 때문에 평활한 것이 바람직하다. 즉, T 다이의 립 부분 및 내벽면에서 용융 수지와의 이형성이 우수하고, 매끄럽게 토출되는 것이 요구되고 있다. 더구나 T 다이의 작업성 및 메인티넌스성을 고려하면, 경도가 높은 것도 요구되고 있다. 이들 요구를 만족시키기 위해 기존 T 다이에 대해서는 경질 크롬도금이나 탄화텅스텐 코트 등의 표면처리가 실시되어 왔는데, 우리들은 플라즈마 질화 처리에 의해 T 다이의 고경도화 및 이형성 향상을 실현했으므로 이것에 대해서 보고한다. 2. 실험 목적 플라즈마 질화 처리는 질소가스를 플라즈마화해, 피처리물에 바이어스 전압을 인가함으로써 피처리물 표면에 CrxN 등의 질소계 금속간화합물을 형성하는 질화법이다. 가스 질화 등 다른 질화법에 비해 저온 처리가 가능하기 때문에 치수 변화가 적고, 또한 질소가스만을 사용하기 때문에 환경부하가 적다. 이 연구에서는 플라즈마 질화 처리를 함으로써 용융 수지와의 이형성이 우수