[첨단 헬로티] CKD 코리아가 1월 31일부터 3월 2일까지 코엑스에서 개최되는 '세미콘 코리아 2018'에 참가해 다양한 산업 분야의 제작을 지원하는 공기압 기기, 유동 제어 기기, 정밀 시스템 기기 등의 제품을 선보였다. 1943년 일본에서 처음 설립된 CKD는 자동 기계 장치 140상품군, 공기압 기기·유체 제어 기기 7,000상품군, 50만 개의 아이템을 갖추고 있다. 최근 미국 실리콘벨리에 테크니컬 센터를 설립해 IoT화에 대응하는 제품과 전동 제품의 개발을 발빠르게 추진하고 있다. CKD의 진공 압력 비례 제어 시스템은 고진공부터 저진공까지 폭넓은 제어가 필요한 시스템이다. 대기압에서 서서히 낮춰감으로써 파티클이 말려 올라가는 것을 방지하고 진공 압력 제어 기능을 유지하면서 차단 기능도 작동하게 된다. 이 제품은 기능이 올인원 설계로 되어 있어 진공 회로계의 배관이 심플해져 공간을 절약할 수 있다는 장점을 갖고 있다. 한편 '세미콘 코리아 2018'은 한국 반도체 산업의 지속적인 성장에 힘입어 국내 최대 규모로 진행된다. 4만 명 이상의 반도체 전문 엔지니어와 국내외 반도체 리더들이 한 자리에 모이는 반도체 산업 글로벌 축제 '세미콘
[첨단 헬로티] 에드워드코리아가 1월 31일부터 2월 2일까지 서울 코엑스에서 개최되는 세미콘코리아 전시회에 혁신적 기술력의 진공펌프를 선보인다. 이번 전시회에서는 특히 3D NAND 메모리와 같은 반도체 최신 Device 들과 그 제조 공정에 필수적으로 요구되는 새로운 기술력을 선보이는 데에 주력한다. 에드워드코리아 윤재홍 부사장은 “ 증가하는 가연성 공정 가스 사용량에 따라 초래되는 희석 가스의 증가 추세나, 5 ~ 7 개까지 확장 되고 있는 멀티 웨이퍼 챔버의 도입, 늘어나는 공정 사이클 등은 더 높은 가스 유량에 대한 제어 및 처리 기술 및 환경안전 측면에 더 많은 도전과제가 늘어남을 의미합니다.” 라고 더욱 복잡해진 최신 반도체 제조 공정의 특징을 설명하였으며 “더불어 ETCH 공정의 Step수가 늘어나고 ETCH time이 길어지는 공정 추세로 인해 현저하게 증가한 부식성 가스를 배기하는 악 조건하에서는 설비 가동율에 부합하는 진공 펌프의 수명 확보와 성능 안정성의 개선을 위해 에드워드의 Xcede와 같은 혁신적인 코팅 기술이 필수화 되었습니다” 라고 덧붙였다. 이렇듯 더욱 복잡해진 차세대 IC 디바이스
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