테크노트 레이저 여기 형광 공초점 검출에 의한 온머신 공구 날끝 미세 형상 계측법의 기본특성

[첨단 헬로티] 1. 서론 금형의 고도화·고효율화에 대한 요구에 의해 표면 성상과 기하공차의 고정도화가 추진되고 있다. 장시간을 필요로 하는 가공부하가 큰 기계가공 공정에서는 공구 날끝 형상의 서브미크론 오더의 경시 변화가 가공 정도에 큰 영향을 주기 때문에 고정도의 비접촉기 상 측정 기술에 의한 공구 관리가 요구되고 있다. 지금까지 기상 계측에 대한 적용을 지향한 공구 날끝 형상 측정법이 개발되어 있는데, 기상의 한정된 공간에서 급경사면의 계측이 곤란한 점, 날끝 표면에 부착한 절삭액에 의해 정도 열화를 초래하는 점 등의 과제를 들 수 있다. 이번 연구에서는 반대로 절삭액에 의한 레이저 여기 형광을 이용한, 새로운 공구 날끝 형상 계측 원리를 제안하는 것이다. 레이저 여기 형광 공초점 검출은 광학 측정이 갖는 고속성·비접촉성에 더해, 오버행면(90° 이상의 경사면)을 갖는 복잡한 날끝 형상도 계측 가능하기 때문에 기상 계측에 대한 높은 적용성을 가지고 있다. 여기에서는 실제로 사용되는 절삭액의 레이저 여기 형광 공초점 검출에 의한 공구 날끝 미세 형상 측정에 의해, 기상 공구 날끝 미세 형상 계측의 실현성을 나타냈으므로 보고

• 2018-07-09 13:23