앤비젼이 웨이퍼 엣지 고속 검사용 라인 스캔 이미징 모듈을 소개했다. 앤비젼이 개발한 3way scan Module은 라인 스캔 방식의 고속 검사 기기다. 24.7mm의 넓은 라인 스캔 FOV가 특징이며, System resolution은 2.5~4.66μm/pixel이다. Optical resolution은 3~4.9μm이며, 검사 가능 두께는 0.8~3mm다. 커스텀 개발도 가능하다. 이 이미징 모듈은 웨이퍼 및 글라스의 전면, 후면, 가장자리 등의 조각, 긁힘, 미세 균열 같은 결함을 한 번에 찾아준다. 최소 0.8~1.0mm 두께의 대상을 3μm의 Optical resolution으로 인라인에서 빠른 검사가 가능해 기존 육안 검사 대비 향상된 속도와 정확도로 웨이퍼 및 글라스 엣지 검사에 완벽한 솔루션을 제공한다. 헬로티 함수미 기자 |
헬로티 김진희 기자 | 엘브이에스가 개발한 사용자 환경에 최적화된 라이스캔 조명 장치 ‘LV-HLS3 모델’이 제9회 한국머신비전산업전에서 열린 2021년 KMVIA 어워드에서 노미네이트됐다. KMVIA(Korea Machine Vision Industry Association) 어워드는 산업 전반에 머신비전을 보급 및 활용해 산업 경쟁력 강화에 공이 큰 기업의 혁신제품에 대해 포상함으로써 이들의 사기를 높이고 다양한 산업으로 머신비전 도입을 가속화하는 데 기여하고자 추진되는 시상식이다. 특히, 매년 한국머신비전산업전을 기준으로 소개되지 않은 신제품이 심사 대상이 되며 공정하고 엄격한 심사를 통해 수상대상을 선정한다. 엘브이에스에서 출시한 LV-HLS3 모델은 사용자 환경에 최적화된 라이스캔 조명 장치이다. 라인스캔 조명 장치는 사용자의 요구 조건에 맞춰 더 높은 광량, 더 좋은 균일도를 제공하도록 노력하고 있다. 그래서 라인스캔 조명 장치의 성능 지표는 광량, 균일도라 말할 수 있다. 물론, 제어 방식도 큰 부분을 차지하고 있지만 라인스캔 카메라는 고속으로 동작하기 때문에 라인스캔 조명 장치의 제어 방식은 PWM 방식이나 Strobe 방식을 적용하기 힘든