AW 2026 [AW 2026] 주원, 나노 정밀 제어 위한 피에조 스테이지 소개

주원이 '스마트공장·자동화산업전 2026(Smart Factory+Automation World 2026, 이하 AW 2026)'에 참가해 피에조 스테이지와 초정밀 센서 기술을 선보였다. 스마트공장·자동화산업전 2026은 아시아 최대 규모 스마트공장 및 자동화산업 전문 전시회다. 이번 전시회는 3월 4일부터 6일까지 총 3일간 코엑스 전시장 전관에서 개최되며, '자율화, 지속가능성을 이끄는 힘(Autonomy, the Driver of Sustainability)'을 슬로건으로 내걸었다. 이번 전시에서 주원은 초정밀 위치 제어를 위한 피에조 스테이지를 비롯해 다양한 정밀 센서 솔루션을 소개했다. 피에조 스테이지는 미세한 위치 제어가 필요한 장비에서 활용되는 정밀 구동 장치로, 나노 단위의 위치 조정이 가능한 것이 특징이다. 이와 함께 초고감도 포스 센서도 함께 공개됐다. 해당 센서는 20μN 감도의 힘 측정이 가능해 미세한 힘의 변화를 정밀하게 감지할 수 있도록 설계됐다. 또한 비접촉 방식의 정전용량식 변위 갭 센서를 통해 미세한 간격 변화를 측정할 수 있으며, 반도체 및 정밀 제조 공정에서 요구되는 고정밀 측정 환경에 적용될 수 있다. 주원은 초정밀 위치

• 이동재 기자
• 2026-03-06 12:17