일반뉴스 오로스테크놀로지, 中 반도체 기업에 오버레이 계측장비 공급

중국 반도체 시장, 정부 지원으로 가파른 성장에 힘입어 중화권 매출 확장 기대 오로스테크놀로지가 중국의 주요 메모리 업체에 최근 오버레이 계측장비 공급을 완료했다. 이는 작년 전망했던 '22년 30%까지 해외 매출 비중 확대 예측'이 가시화하는 성과를 달성한 셈이다. 오버레이 계측장비는 웨이퍼 상부층과 하부층의 전자회로 패턴이 정확하게 정렬되는지 측정하는 장비다. 패턴 간의 오차를 나노미터 단위로 검사하고 노광기 위치를 보정해 반도체 수율에 직접적인 영향을 미친다. 기술 난이도가 높아 현재 오버레이 계측장비를 양산하는 기업은 국내로는 오로스테크놀로지가 유일하고, KLA, ASML 등이 주요 해외 기업이다. 오로스테크놀로지는 해당 장비를 주로 국내 시장에 공급해왔으나, 최근에는 해외 시장 진출에 적극적으로 나서고 있다. 현재 12인치 하이엔드 오버레이 계측장비와 8인치 오버레이 계측장비를 중심으로 다수의 해외 고객사와 제품 공급 논의를 진행하고 있다. 이미 오로스테크놀로지는 중화권에 위치한 CS오피스를 중화법인으로 확대, 미국 실리콘밸리에 현지 법인을 설립하는 등 해외 고객사 대응력 강화를 위한 준비를 해왔다. 이러한 노력의 성과로, 오로스테크놀로지는 중국 주

• 서재창 기자
• 2022-02-08 11:15