AW 2026 [AW 2026] 비텍, 반도체 공정용 CMP 및 첨단 자동화 솔루션 선보이며 기술 혁신 선도

(주)비텍이 '스마트공장·자동화산업전 2026(Automation World 2026, 이하 AW 2026)'에 참가해 싱가포르에서 제조된 반도체 공정용 CMP 장비와 RFID, E84 등 첨단 스마트 물류 및 공정 솔루션을 선보였다. 스마트공장·자동화산업전 2026은 아시아 최대 규모 스마트공장 및 자동화산업 전문 전시회다. 이번 전시회는 3월 4일부터 6일까지 총 3일간 코엑스 전시장 전관에서 개최됐으며, '자율화, 지속가능성을 이끄는 힘(Autonomy, the Driver of Sustainability)'을 슬로건으로 내걸었다. 이번 전시에서 비텍은 반도체 제조의 핵심인 CMP(Chemical Mechanical Polishing, 화학적 기계 연마) 공정 솔루션을 전면에 내세웠다. 비텍은 2018년 설립 이후 '맷돌 플러스'라는 프로젝트명으로 독자적인 CMP 장비 개발을 추진해 왔으며, 2024년 CMP 200MM 데모 장비를 완성 및 시연하고 300MM 장비 개발에 착수하는 등 뛰어난 기술적 역량을 입증하고 있다. 또한 반도체 팹(Fab) 내 무인 물류 자동화의 핵심 통신 규격인 E84 인터페이스와 공정 이력 및 자재 관리를 위한 RFID 시스템

• 최재규 기자
• 2026-03-08 11:50