일반뉴스 [세미콘 2022] 스웨즈락, 반도체 공정에 특화된 유체 시스템 선보여

스웨즈락 코리아(이하 스웨즈락)이 세미콘 코리아 2022에 참가해 ALD 밸브 시리즈와 온도 안정성을 위한 단열 호스 및 안전성을 고려한 반도체 공정 맞춤형 솔루션을 공개했다. 위 솔루션들은 스웨즈락 부스에서 직접 확인할 수 있었다. 반도체 산업은 스웨즈락의 주요 비즈니스다. 20년 이상 세미콘에 참가해온 스웨즈락은 반도체 공정 효율을 높이기 위한 솔루션을 지속해서 발표해왔다. 이번 세미콘에서 공개된 초고순도 ALD20 밸브는 높은 수준의 정밀성과 청정도 및 긴 수명 주기를 제공한다. 특허 출원 중인 ALD20 설계는 기존의 표준 ALD 밸브 기술로 달성하는 유량 계수의 2~3배를 공급하고, 최소 10℃(50℉)에서 최대 200℃(392℉) 사이의 가스 박스 내부에 안정적으로 설치할 수 있어 열 안정성과 증착 균일성을 높인다. 스웨즈락 관계자는 “ALD 밸브 시리즈는 반도체 증착 공정에 특화해 개발한 밸브다. 최초의 ALD 밸브라고 할 만큼, 오랫동안 이를 활용하는 기업에 신뢰성 높은 결과물을 제공해왔다”고 밝혔다. 이어 그는 “재작년에 출시된 ALD20 밸브는 유체량은 늘리고 정확도는 높여 생산성 향상에 기여한다”고 덧붙였다. 세미콘에서 선보이는 주목받은

• 서재창 기자
• 2022-02-15 13:07