스웨즈락 코리아(이하 스웨즈락)이 세미콘 코리아 2022에 참가해 ALD 밸브 시리즈와 온도 안정성을 위한 단열 호스 및 안전성을 고려한 반도체 공정 맞춤형 솔루션을 공개했다. 위 솔루션들은 스웨즈락 부스에서 직접 확인할 수 있었다.
반도체 산업은 스웨즈락의 주요 비즈니스다. 20년 이상 세미콘에 참가해온 스웨즈락은 반도체 공정 효율을 높이기 위한 솔루션을 지속해서 발표해왔다. 이번 세미콘에서 공개된 초고순도 ALD20 밸브는 높은 수준의 정밀성과 청정도 및 긴 수명 주기를 제공한다.
특허 출원 중인 ALD20 설계는 기존의 표준 ALD 밸브 기술로 달성하는 유량 계수의 2~3배를 공급하고, 최소 10℃(50℉)에서 최대 200℃(392℉) 사이의 가스 박스 내부에 안정적으로 설치할 수 있어 열 안정성과 증착 균일성을 높인다.
스웨즈락 관계자는 “ALD 밸브 시리즈는 반도체 증착 공정에 특화해 개발한 밸브다. 최초의 ALD 밸브라고 할 만큼, 오랫동안 이를 활용하는 기업에 신뢰성 높은 결과물을 제공해왔다”고 밝혔다. 이어 그는 “재작년에 출시된 ALD20 밸브는 유체량은 늘리고 정확도는 높여 생산성 향상에 기여한다”고 덧붙였다.
세미콘에서 선보이는 주목받은 또 하나의 제품은 단열 호스였다. 이 단열 호스는 적절한 단열 특성으로 공정 안정성을 확보한다. 이와 함께 호스 내부의 유체를 적정 온도로 유지해 결로 및 연관 문제를 예방한다.
스웨즈락 관계자는 “반도체 칩을 제조할 때 저온의 유체를 사용할수록 원하는 품질을 얻을 수 있다고 한다. 호스에 냉매가 흐르면, 결로가 생기는 경우가 발생하는데, 이를 방지하기 위해 스웨즈락은 지난해 단열 호스를 개발했다”고 말했다.
한편, 스웨즈락은 50년 이상 전 세계 반도체 칩 및 장비 제조업체의 방향에 발맞춘 기술과 고품질 유체 시스템 솔루션에 대한 대응, 일관된 고객 경험을 제공해왔다. 유체 조절 밸브, 호스, 레귤레이터 등의 솔루션을 통해 다양한 반도체 제조 및 장비 제조 기업과 유체 시스템 관련 문제를 해결하고 있다.
스웨즈락 코리아는 현재 광명 본사와 부산 사무소에 80명 이상의 직원이 근무하며 반도체, 석유 및 가스, 화학, 석유화학, 운송 산업 고객의 니즈를 충족하기 위해 다양한 설계 및 조립 서비스와 전문 실습 교육 프로그램을 제공하고 있다.
특히 광명 본사 내 클래스 100 클린룸에서는 고도로 숙련되고 많은 경험을 갖춘 맞춤형 솔루션 팀이 고성능, 고품질 어셈블리를 제작하는데 주력하고 있다.
헬로티 서재창 기자 |
