머신비전은 사람의 눈으로 검사하기 어렵거나 불가능한 반도체, 디스플레이 등 전자제품의 불량을 검사해준다. 이런 머신비전에는 머신비전용 카메라, 렌즈, 조명, 프레임그래버 등 다양한 제품이 필요하다.
앤비젼은 인간의 눈을 대신하여 인지하고 판단하는 머신비전 솔루션을 제공하는 비전 솔루션 전문 기업이다. 제품 개발 이외에도 엔지니어링 컨설팅, 기술지원 서비스, 상담, 데모 서비스를 지원하고 있다.
고속 스트로브 조명을 활용한 Area AOI 솔루션
최근 디스플레이 업계는 다조건 조명의 검사를 수행하기 위한 고속 프레임 카메라 니즈가 높아지고 있다. 다조건 조명의 검사를 위해서 Falcon4 11M 600fps의 고속 에어리어 스캔 카메라와 함께 600W급 8채널 조명 컨트롤을 사용해 1μs 수준으로 스트로브 조명을 사용해야 한다.
이 광학계에 최적화된 설계를 한 렌즈를 같이 활용하면 1μs 수준의 짧은 노출 시간에 블러 없이 샤프한 영상을 얻을 수 있다. 고속 다조건 Area 검사를 위해 앤비젼의 카메라, 렌즈, 조명, 컨트롤러를 활용하면 어려운 고객 니즈에 쉽게 대응할 수 있다.
NIR 영역대 파장을 이용한 웨이퍼 투과 검사
BSI TDI 카메라는 기존 TDI보다 UV, IR 감도가 훨씬 높다. 이와 함께 REVOX의 1500나노 150W급 LED 조명을 백라이트로 비추면 웨이퍼를 투과해 내부 패턴까지 확인할 수 있다.
일반 가시광선 대역에서 검사를 진행하면, 웨이퍼를 투과하지 못하고 까맣게 보이는 현상이 일어난다. NIR 파장대 높은 투과율을 활용해야 반도체 내부 크랙이나 패턴의 불량이 검사 가능하다.
초고휘도 소스 타입 조명 제품
앤비젼은 AW 2023에서 초고휘도 소스 타입 조명 제품 3가지를 소개했다. 첫 번째, SLG150V 제품은 기존 메탈라이트 조명을 대체할 수 있는 150W급 백색광 조명이다. 두 번째, SLG450TSL 제품은 RGB LED가 한 소스 안에 장착되어 있어 세 가지 컬러를 각각 혹은 믹스해서 볼 수 있는 조명이다.
마지막으로 소개한 SLG600V2 제품은 SLG150V, SLG450TSL 보다 5배, 8배 밝은 초고휘도 소스 타입의 조명이다. 레이저를 사용해서 형광된 빛을 활용하기 때문에 1μs 이하의 빠른 응답속도를 가지고 있다.
REVOX 제품은 장비간 편자를 줄일 수 있는 밝기 선형성, 광량을 지속적으로 유지하는 피드백 시스템 등의 기능을 제공한다. 이런 초고휘도 소스를 사용하면 안정적인 불량 검사를 진행할 수 있다.
앤비젼의 CIS 솔루션
앤비젼의 CIS는 이미지 센서 렌즈를 콤팩트하게 결합해 협소한 공간에서도 비전 시스템을 간편하게 구축할 수 있는 새로운 솔루션이다. 앤비젼은 DALSA의 고성능 이미지 센서와 앤비젼의 이미징 노하우로 압도적인 성능과 뛰어난 영상 품질의 CIS를 출시했다.
Teledyne DALSA의 최신 CMOS 센서는 높은 해상도와 빠른 속도로 영상의 미세한 결함을 구별해낸다. 400, 800mm의 사이즈로 넓은 면적의 검사를 가능하게 하며 대용량 처리를 위해 CLHS 고속 인터페이스를 사용하며 파이버 옵틱 케이블로 최대 300미터의 길이 구성이 가능하다.
400mm, 800mm CIS를 시작으로 1500mm, 700mm 제품이 출시된다. 각 제품은 600dpi 와 900dpi의 해상도를 선택할 수 있다. 특별히 제작된 100mm CIS 제품은 1200, 2500 dpi 해상도를 제공해 고해상도 CIS 니즈를 완벽히 대응한다.
앤비젼의 CIS 솔루션은 생산 라인에서의 공간 제약을 극복하고, 높은 품질의 검출력을 확보해 생산성 향상을 돕는다.
헬로티 함수미 기자 |
