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일반뉴스 中 “자국이 개발한 EUV 노광장비, 유의미한 기술 진보 이뤄“

중국이 자국산 반도체 심자외선(DUV) 노광장비 2종이 중요한 기술적 도약을 이뤘다고 주장했다. 15일 홍콩 사우스차이나모닝포스트(SCMP)에 따르면 중국 공업정보화부는 이번주 발간한 '주요 기술 장비' 신규 목록에서 이같이 밝혔다. 공업정보화부는 이 노광장비들이 "중요한 기술적 도약을 이뤘고 자체 지식재산권을 보유했지만 아직 시장에 나오지는 않았다"고 설명했다. 그러나 해당 장비 2종의 제작사 이름은 공개하지 않았다. 중국이 개발했다는 2종 DUV 노광장비중 하나는 파장 193나노미터에서 작동하며 해상도 65나노 미만, 오버레이 정확도 8나노 미만이다. 다른 하나는 파장 248나노, 해상도 110나노, 오버레이 정확도 25나노다. 이 두 장비 모두 여전히 현재 시장에서 구할 수 있는 최첨단 제품보다는 한참 뒤처져 있다. 일례로 네덜란드 반도체 장비업체 ASML의 최첨단 DUV 노광장비는 해상도 38나노 미만, 오버레이 정확도 1.3나노급이다. 게다가 DUV 노광장비보다 훨씬 짧은 13.5나노 파장을 사용하는 극자외선(EUV) 노광장비도 이미 상용화됐다. 노광은 반도체 기판에 고도로 복잡한 회로 패턴을 새기는 공정이다. 중국은 반도체 자립자족을 위해 수년간

서재창 기자

2024-09-16 23:55

일반뉴스 ASML, “美의 대중 반도체 장비 규제, 실적에 영향 없을 것”

ASML·니콘, 심자외선(DUV) 노광장비의 중국 수출 차단할 것으로 보여 ASML은 네덜란드가 일본과 함께 미국의 대 중국 반도체 장비 수출 통제에 동참하는 것이 올해 실적에 큰 영향을 주지 않을 것이라고 29일(현지시간) 전망했다. 블룸버그통신에 따르면, ASML의 대변인 모니크 몰스는 이메일을 통해 "현재 시장 상황을 종합하면 이런 조치들은 우리가 공표한 2023년 실적 전망에 의미 있는 영향을 주지 않을 것"이라고 내다봤다. 그는 "세계 반도체 산업에 더 이상의 혼란을 주지 않기 위해 현재 필요한 것은 산업의 안정성과 신뢰성"이라고 강조했다. 몰스는 "정부 간에 합의가 이뤄진 것으로 알고 있으며, 첨단 노광장비를 포함해 첨단 반도체 장비 기술에 초점이 맞춰져 있는 것으로 이해하고 있다"고 말했다. 그는 "이 규제가 발효되기 위해서는 구체화하고 법제화돼야 하므로 시간이 걸릴 것"이라고 덧붙였다. 미국 정부는 지난 27일 워싱턴DC에서 네덜란드·일본과 일부 첨단 반도체 장비의 중국 수출 규제에 합의했다고 소식통들은 전했다. 미국은 지난해 10월 중국 기업에 대한 미국산 첨단 반도체 장비 판매를 금지하고 AI와 슈퍼컴퓨터에 사용되는 반도체의 수출을 제한하는

서재창 기자

2023-01-30 14:46

일반뉴스 반도체 장비 수입 줄어든 中, 반도체 궐기 적신호 들어오나?

中 반도체 생산장비 수입 규모, 올해 10개월 가운데 7개월간 감소 미국이 첨단 반도체 생산장비의 중국 수출을 사실상 봉쇄한 가운데 지난달 중국의 반도체 생산장비 수입 규모가 급감한 것으로 나타났다고 블룸버그통신이 23일 보도했다. 블룸버그는 중국 무역통계 자료 분석 결과 지난 10월 중국의 반도체 생산장비 수입 규모가 지난해 같은 기간보다 27% 감소해 2년여 만에 가장 적은 24억달러(약 3조2460억 원)에 그쳤다고 전했다. 중국의 반도체 생산장비 수입 규모는 올해 10개월 가운데 7개월간 줄었다. 장비 생산 국가별로는 미국과 일본으로부터의 수입은 줄어든 반면 세계적인 노광장비 생산업체인 ASML이 있는 네덜란드로부터의 수입량은 두 배로 늘어난 것으로 나타났다. ASML은 독점 생산하는 최첨단 극자외선(EUV) 노광장비를 네덜란드 정부의 불허로 중국에 수출하지 못하고 있으나, 이전 모델인 심자외선(DUV) 노광장비는 계속 공급하고 있다. 앞서 미국은 지난달 7일 미국 기업의 중국에 대한 첨단 반도체 장비 수출을 사실상 금지하는 수출 통제 조치를 발표했다. 이후 세계 반도체 장비 산업에서 절대적인 비중을 차지하고 있는 네덜란드와 일본에도 수출 통제 동참을

서재창 기자

2022-11-24 10:49