일반뉴스 영우디에스피, 반도체 검사장비 국산화 주관기관 선정

헬로티 서재창 기자 | 영우디에스피가 반도체 검사장비 국산화를 통해 신규 캐시카우 확보에 나선다. 영우디에스피는 정부가 추진 중인 반도체 소부장 국산화의 '10나노 이하 반도체 결함 검사장비용 자외선 렌즈모듈 실장 성능평가 기술개발' 세부주관기관으로 선정됐다고 28일 밝혔다. 산업통상자원부가 주관하는 본 과제는 '반도체 결함 검사장비용 CaF2 광학소재 및 광학모듈 기술개발'의 3세부 과제다. 한국산업기술평가관리원이 전담기관, 한국광기술원이 총괄주관 기관으로 참여한다. 1세부, 2세부에서는 각각 ‘CaF2 단결정 제조장비 및 200mm급 고균질 잉곳’과 ‘고분해능 자외선 렌즈설계, 광학렌즈, 광학모듈화 상용화’ 기술개발을 진행한다. 사업기간은 오는 2024년까지며, 총 정부지원금은 194.5억 원이다. 영우디에스피가 담당할 3세부 과제의 최종적인 목표는 반도체 DUV 대물렌즈 실장 및 성능평가용 IQC(수입검사)와 검사기 시스템을 개발하는 것이다. 영우디에스피가 주관기관으로서 역할을 수행하고 대일시스템, 금오공대, 국민대, 애리조나대가 공동연구개발기관 자격으로 참여한다. 사업 기간은 오는 2024년 말까지이다 영우디에스피는 오는 2022년까지 DUV 대물렌즈

• 서재창 기자
• 2021-07-28 08:58