테크노트 국내 연구진, 대면적 측정 가능한 다중 탐침 주사 탐침 현미경 개발

간단한 탐침 구조로 측정 면적 및 속도 향상 기여 하나의 뾰족한 바늘인 탐침을 이용하여 3차원 이미지를 얻을 수 있는 주사 탐침 현미경(SPM). 여기에 100여개 탐침을 도입하여 그 성능이 더 좋아진 현미경을 국내 연구진이 개발하였다. 한국연구재단은 연세대학교 심우영 교수 연구팀이 캔틸레버 없는 간단한 탐침구조를 이용한 다중 탐침 주사 탐침 현미경을 개발했다고 밝혔다. 주사 탐침 현미경은 뾰족한 탐침을 이용해 시료를 훑으며 표면의 미세한 3D 형상을 측정하는 장비인데, 이는 단일 원자 수준의 높은 분해능을 장점으로 현재 나노과학의 핵심 측정 기술로 활용되고 있다. 하지만, 기존 주사 탐침 현미경은 하나의 탐침으로 전체 표면을 측정하는 특성상 측정 면적과 속도가 제한적인 단점이 있어, 국소 면적을 측정하는 단순 연구용으로는 활발히 사용되어 왔으나 산업적으로 활용되기에는 제약이 있었다. 측정 면적을 넓히기 위해서는 탐침의 개수 또한 늘려야 하지만, 기존의 캔틸레버 기반 탐침은 구조가 복잡하여 여러 개의 탐침으로 제작하기가 어려웠다. 이에, 연구팀은 캔틸레버가 없는 간단한 구조의 다중 탐침 어레이(Cantilever-free tip array)와 이를 표면 측정

• 김진희 기자
• 2022-04-03 11:28