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[AW 2023] 리스광시스템, 웨이퍼 검사 시스템 및 현미경 선보여

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[무료 웨비나] 스마트 제조를 위한 센소파트의 로봇 비전 솔루션 (3/23, 10:00~11:00)

 

리스광시스템이 스마트공장·자동화산업전 2023(Smart Factory+Automation World 2023, 이하 AW 2023)’에 참가해 웨이퍼 검사 시스템과 텔레센트릭 렌즈, 현미경 등을 소개했다. 

 

스마트공장·자동화산업전 2023은 아시아 최대 규모 스마트공장 및 자동화산업 전문 전시회다. 이번 전시회는 3월 8일부터 10일까지 사흘간 코엑스 A,B,C,D홀 전관에서 개최되며, ‘We connect your factory’를 테마로 스마트제조부터 탄소중립까지 지속가능한 디지털 혁신을 선보인다.

 

리스광시스템은 검사장비용 광학계를 국내 순수 기술력으로 자체 설계 제작하는 업체다. 든 광학 시스템의 자체 설계와 최적의 시스템 구축을 위한 컨설팅을 제공하며, 각종 반도체 및 디스플레이산업용, 의료, 레이저가공용, 조명용 광학계 설계와 제조를 하고 있다. 

 

 

이번 전시회에서 리스광시스템은 웨이퍼 검사 시스템을 선보였다. 시료에 따른 주문형 Optical 구성이 가능하며, 다양한 비전과 스테이지를 적용시켜 검사 프로그램을 통해 다양한 샘플을 테스트할 수 있는 장비다. 

 

텔레센트릭 렌즈는 시료의 단차 또는 원근감으로 인한 불필요한 영상을 제거하고 2D 영상을 보여주며, 필드 높이 & 투시 각도에 관계없이 검사가 가능한 광학계다. 스탠다드 타입과 고 분해능 타입이 있으며, 현재 시장 동향에 맞춰 가기 위해 센서 사이즈 1.1인치가 커버 가능한 라인업이 구성 되어있다. 

 

 

현미경은 쾰러 조명계 & 튜브 렌즈, 대물 렌즈로 구성 되어있다. 다양한 배율의 튜브 렌즈와 대물 렌즈 적용이 가능하다.  웨이퍼 검사, 원자 현미경, 바이오 칩 검사 등에 사용이 되고 있으며, 고객 요청에 따른 전 사양 커스터 마이징이 가능한 제품이다. 

 

한편, AW 2023은 국제공장자동화전(aimex), 스마트팩토리엑스포(Smart Factory Expo), 한국머신비전산업전(Korea Vision Show)으로 구성되며, 올해는 400개사가 1700부스 규모로 참여했다. 이번 전시회에서는 디지털 제조 혁신을 중심으로 하는 다양한 컨퍼런스 및 세미나도 열리며, 업계 전문가가 참여하는 200여개의 발표로 구성된다.

 

헬로티 함수미 기자 |










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