기술·솔루션 등 포트폴리오 확장 의지 “반도체 시장서 입지 확장하고, 지속 기술력 제고할 것” 싱가포르 소재 엔지니어링 기술 업체 아큐론 테크놀로지스(Accuron Technologies 이하 아큐론)이 네덜란드 반도체 공정 솔루션 업체 ‘트라이맥스 세미컨덕터 이큅먼트(Trymax Semiconductor Equipment 이하 트라이맥스)’의 지배 지분을 확보했다. 트라이맥스는 플라즈마(Plasma)·자외선(UV) 기반 반도체 공정용 장비·솔루션을 공급하고 있다. 이번 인수는 반도체 장비 솔루션 포트폴리오를 강화하기 위한 아큐론의 전략적 투자다. 아큐론은 해당 투자를 통해 에칭(Etching)·클린(Clean) 공정에서의 영향력을 확대할 방침이다. 트라이맥스도 아큐론의 일원으로 합류해 아큐론이 보유한 네트워크를 기반으로 플라즈마 장비·솔루션을 확장된 범위에서 제공하게 됐다. 탄 카이 호(Tan Kai Hoe) 아큐론 CEO 겸 사장은 “이번 인수는 반도체 산업에서의 입지를 강화하는 주요 이정표”라며 “앞으로도 고객에게 더욱 차별화된 기술·솔루션을 제공하기 위해 노력할 것"이라고 말했다. 이어 레오 메이허(Leo Meijer) 트라이맥스 CEO 겸 창립자는
아바코가 독일 슈미드그룹과의 협력을 통해 유리 기판 시장 진출에 속도를 내고 있다고 17일 밝혔다. 2018년 아바코와 전략적 제휴로 설립된 합작법인 슈미드아바코코리아는 2019년 PCB 건식공정 장비 개발에 성공했다. 회사측은 이를 기반으로 유리 기판을 이용한 패키징 제조 공정에도 적용할 수 있는 기술력을 확보했다고 설명했다. 아바코는 현재 유리 기판 시장으로의 확장 가능성을 검토하고 있으며 글로벌 모바일 및 IT 기업에 검증을 위한 공급 논의를 진행하고 있다. 슈미드아바코코리아는 플라즈마를 이용한 건식 세정 및 에칭 외에도 전극 증착 공정을 연속 수행할 수 있는 장비를 개발했으며, PCB 및 유리 기판에 미세 선폭의 패턴 및 홀 가공이 가능하다고 전했다. 해당 장비는 AI 반도체 및 고성능 전자제품 산업에 적용이 가능한 만큼 아바코는 중국, 대만, 유럽 및 미국 고객들에게 연구개발(R&D)용 장비 6대를 공급했으며, 본격적인 양산 장비 공급을 위한 초기 성능 검증을 완료했다. 올해 1분기 안으로는 북미 최대의 전자제품 제조 기업의 협력사에 유리 기판 및 PCB 기판 제조 양산 검증을 위한 장비 수주를 위해 협의 중이다. 아바코 관계자는 “슈미드아바
헬로티 이동재 기자 | 하이퍼썸이 새로운 Powermax SYNC 공기 플라즈마 시스템 3종을 출시했다. 하이퍼썸은 미국계 산업용 절단 시스템 및 소프트웨어 제조업체다. 새롭게 출시된 차세대 Powermax65/85/105 시스템은 내장형 인텔리전스와 일체형 카트리지 소모품이 탑재됐다. Powermax SYNC와 SmartSYNC 토치는 기존의 5단 소모품 스택업을 컬러 코딩된 일체형 카트리지로 대체했다. 각 카트리지에 적용된 기술이 정확한 암페어 수, 공기 압력, 작동 모드를 자동으로 설정해, 새 카트리지가 필요한 경우 이를 작업자에게 알린다. SmartSYNC 토치 컨트롤은 작업자가 전원공급장치에 가지 않고도 암페어수를 조절하고 카트리지를 교환하도록 해준다. 카트리지가 일체형으로 생산돼, 시스템 내에 모든 것이 완벽하게 정렬되고 최적화돼 있다. Powermax 시스템용 Hypertherm 카트리지는 기존 소모품에 비해 수명이 최대 2배 더 길며, 한층 더 깔끔하게 절단한다. 또한, 카트리지는 스타트, 아크온 시간과 같은 데이터를 추적해 추세를 파악하고 더욱 효율적인 작업을 가능케 한다. 에릭 브린 하이퍼썸 Powermax 팀매니저는 “Powermax SY
[헬로티] 한국표준과학연구원(KRISS)이 반도체·디스플레이 공정에 사용되는 플라즈마 양을 실시간으로 측정할 수 있는 센서를 세계 최초로 개발했다고 밝혔다. 가동 장비를 멈추지 않고도 사용할 수 있기에 반도체·디스플레이 장비 성능평가 및 제품 수율 향상에 도움이 될 것으로 기대된다. 이번 기술은 한국 원천 특허 등록을 기반으로 미국·유럽·중국·일본 등 4개국 특허 출원이 완료됐다. KRISS 연구팀은 기기에 센서가 내장된 ‘지능형 식각공정 장비’ 개발을 추진할 예정이며, 외산에 독점화된 반도체 장비 시장에서 기술혁신을 이룰 것으로 전망된다. 반도체 소자의 저전력화, 선폭 초미세화, 3차원 구조화에 따라 반도체 플라즈마 공정의 난도가 높아지고 있다. 플라즈마 공정은 반도체 회로 패턴 가운데 필요한 부분만 남기고 불필요한 부분은 깎아내는 작업인 식각 공정에 사용된다. 식각 공정의 안정성은 반도체 생산성·수익성의 척도인 수율로 이어진다. 잘못된 식각 공정으로 회로 부분이 끊기거나 균일하지 않으면 생산된 반도체 칩에 오류가 생기고 원하는 동작을 수행할 수 없다. 지금까지는 공정 중 웨이퍼 영역의 플라즈마 변수를 직접 측정할 수 있는 센서가 없었다. 해외에서 독점적으
[헬로티] AETP가 지난 11월 12일(목)부터 15일(일)까지 킨텍스8홀에서 개최된 'K-PRINT 2020'에 참가해 다관절 로봇이 포함된 플라즈마 자동화 시스템을 선보였다. ▲전시회에 참가한 AETP의 부스 전경(사진 : 서재창 기자) AETP 플라즈마 자동화 시스템은 첨단 로봇과 센서, PLC, 터치스크린 작업을 기반으로 고객사의 생산황경과 요청사항에 따른 최적의 자동화 솔루션을 제공한다. 플라즈마는 제조현장에서 주로 표면개질, 표면세정 등 표면처리에 활용됐으나 자동차·전기전자·의료·칩카드 제조·플라스틱 가공산업에서 역할이 역할이 점차 확대되고 있다. 특히 플라스틱처럼 온도에 민감한 소재는 플라즈마의 특성을 이용해 표면 처리하면 접착, 세정, 코팅, 인쇄 등이 가능해진다. 이러한 특성으로 플라즈마는 접착, 점착, 테이핑, 도장, 인쇄, 코팅 등의 공정에서 전처리 기술로 폭넓게 사용되고 있다. 플라즈마 공정은 운영비용이 저렴하고, 환경 폐기물이 없다. 이에 클린룸에서 사용이 가능하며, 미크론 수준의 틈새 세척 및 미세 처리도 가능하다. 또한, 처리 후 세척이나 건조공정 등 후처리가 필요하지 않아 공정단
[헬로티=서재창 기자] 에이피아이가 지난 10월 27일부터 30일까지 코엑스에서 개최된 자동차기술산업전(AUTOMOTIVE TECHNOLOGY EXPO 2020)에서 플라즈마 표면처리 장비 라인업을 선보였다. ▲자동차기술산업전 2020에 참가한 에이피아이의 부스 전경(사진 : 서재창 기자) 에이피아이의 대기압 플라즈마 표면처리 장비 'i' 시리즈는 대표적인 3차원 대기압 플라즈마 장비로 국내뿐 아니라 해외 다양한 산업 분야에 사용되고 있다. 전시회에서 선보인 'iREV'는 산업 전반의 다양한 어플리케이션에서 제품 완성도를 높이는 초고속 대면적 저온 대기압 플라즈마 표면처리 장비다. 최적 설계로 제작된 iREV 헤드어셈블리는 고속회전임에도 진동이 작아 긴 수명이 보장되며, iREV 노즐에서 방출되는 초고밀도 저온 이온 플라즈마는 제품 표면에 이온 충돌하면서 각종 유기물을 분해, 미세입자 무기물을 제전해 제거, 표면적이 증대되는 에칭, 고반응성 라디칼 그룹을 형성시키는 등의 효과를 가져온다. ▲에이피아이의 플라즈마 표면처리 장비 'iREV'와 'iZET' 한편, 에이피아이는 고객의 요구 사항에 적합한 고밀도, 고효율의 플라즈마를 생성하도록 기술 연구개발에 지속적
[헬로티 = 서재창 기자] 코시스는 지난 10월 20일(화) 창원컨벤션센터(CECO)에서 개최된 용접 전문 전시회 ‘2020 창원국제용접 및 절단 자동화기술전(WELDING KOREA 2020, 이하 웰딩코리아)’에 참가해 자사의 가공기계 라인업을 전시했다. ▲사진 : 서재창 기자 전시회에 모습을 보인 H-빔 드릴 머신 'newRun7 DX'는 최대 700x400mm H빔, 찬넬, 각파이프, 앵글바 홀가공 자동가공이 가능한 장비다. 초경드릴 전용기계로 홀가공 속도가 일반 HSS드릴보다 5배 이상 빠르며, X축 드릴이동이 가능해 더욱 빠른 작업을 진행할 수 있다. 또한, 원격지원을 활용한 기계 진단 및 원인 파악으로 즉각적인 문제해결이 가능하며, 사무실과 네트워크 연결이 가능하다는 장점이 있다. 또 하나의 신제품인 플레이트 드릴 머신 'X-one 106'은 최대 가공 범위가 1,000X600mm이며 드릴 작업 후 발생한 홀 뒷면의 버를 동시에 자동제거하는 기능을 탑재했다. 기존 제품보다 업그레이드된 고속 RPM과 고 토크 스핀들을 장착, 초경드릴을 사용해 빠른 홀가공이 가능하다. CAD 프로그램 DXF file 입력이 가능해졌으며, MS
미래 기술의 원천기술로 평가받는 플라즈마 기술 대기압, 저온 대기압, 화염 등 다양한 플라즈마 표면처리 장비 소개 ▲ 에이피아이는 ‘인터배터리 2020’에서 다양한 플라즈마 표면처리 장비를 선보였다. (사진 : 김동원 기자) [헬로티 = 김동원 기자] 고부가가치 창출을 위한 필요 자원으로 플라즈마가 주목받고 있다. 플라즈마는 물질의 3가지 기본 상태인 고체, 액체, 기체 이외의 제4의 물질 상태로 양이온과 음이온의 총 전하수가 거의 같은 이온화된 기체를 의미한다. 플라즈마 산업은 플라즈마가 생성될 때 나오는 빛이나 이온, 전자, 열 등을 이용하는 산업을 통칭한다. 플라즈마 기술이 핵심인 산업에는 반도체산업, 의료기기산업, 조명 산업, 디스플레이산업, 전자부품 및 소재 산업, 전자빔 응용 산업 등이 있다. 플라즈마 기술은 첨단기술의 원천기술로 다양한 미래 산업에 적용할 수 있다. 선진 농업 및 바이오에서의 청정 멸균 기술, 고기능 농기계 부품, 생체재료 표면처리에 응용할 수 있다. 실제로 2-Dimension 및 3-Dimension 물체를 위한 플라즈마 표면 처리 시스템은 표면을 효과적으로 개질해 인쇄, 코팅, 라미네이팅, 컨버팅 및 압
[첨단 헬로티] 코비플라텍(대표 김성영)이 코로나19 감염 대응 최전선에 있는 경북지역 의료기관을 긴급 지원한다. 코비플라텍은 대한적십자사 경북지사를 통해 경북지역 선별진료소 38곳에 총 1억원 상당 규모의 플라즈마 공기살균청정기 ‘에어플라’를 기증한다고 밝혔다. ▲ 노서영 코비플라텍 상무와 대한적십자사 경북지사 관계자가 기념촬영을 하고 있다. (사진 : 코비플라텍) 공기살균기 기업이 코로나19 확진자가 집중적으로 발생한 경북지역의 선별진료소에 대규모로 기증을 진행한 것은 이번이 처음이다. 코비플라텍은 코로나19 확산 방지와 환자 치료를 위해 힘쓰고 있는 경북지역 의료진의 위생적인 의료 환경과 감염 예방을 위해 이번 기증을 결정했다. 이번 기증은 병원 내 집단 감염에 대한 우려와 밀폐된 환경의 에어로졸 감염 가능성이 점차적으로 대두되면서, 병원 내 실내 공기 살균 관리의 중요성이 더욱 강조되고 있는 현 시점에 의료진의 건강 및 감염 예방을 위해 긴급히 내린 결정이라 더욱 의미가 있다. 코비플라텍이 이번에 기증한 에어플라는 먼지를 제거하는 공기청정기 기술 수준을 넘어 리얼 벌크 플라즈마 기술을 통해 공기를 살균하는 기능을 획기적으로 강화한
※ 한국산업단지공단(KICOX) 글로벌 선도기업 릴레이인터뷰 - 1) 제4기한국 [첨단 헬로티 = 김동원 기자] 플라즈마 표면처리 기술로 이미 시장에서 굳건한 입지를 다지고 있는 기업 제4기한국(대표 백태일). 1991년 창업한 이 기업은 글로벌 시장에서도 플라즈마에 대한 기술이 생소했던 1990년대 초부터 반도체, 디스플레이 산업에 필수적인 플라즈마 표면처리시스템 제조와 공정기술 개발에 집중해왔다. ▲ 백태일 제4기한국 대표. 제4기한국은 PCB 및 패키지용 대형플라즈마 디스컴 장치와 세정장치인 ‘플라즈마디스미어시스템’를 세계최초로 개발한 것으로 유명하다. 이 장치는 삼성전자, 삼성전기, SK하이닉스, LG이노텍, 대덕전자, 인터플렉스 등 국내 대형 PCB 및 반도체 기업뿐만 아니라 일본의 스미토모(Sumitomo), 소니(Sony), JCU 그룹, 중국의 폭스콘(Foxconn) 등이 해외 업체에도 공급되고 있다. 또한, 제4기한국은 2013년부터 시화MTV산업단지에 클린(Clean) 공장을 구축해 클린룸 환경에서 조립이 필요한 5G용 기판, 반도체 패키지 등의 장치들을 개발, 공급하며, 5G 기판용 양산공정기술 확보를 위한 신장비 개
[첨단 헬로티] 한국전기연구원(이하 KERI, 원장 최규하) 전기물리연구센터 배정수 학생(UST KERI 캠퍼스)이 펄스파워 분야 세계 3대 학회 중 하나인 ‘2019 IEEE 펄스파워 및 플라즈마 과학 컨퍼런스(PPPS : Pulsed Power and Plasma Science Conference)’에서 ‘Outstanding Student’ 논문상을 수상했다, 배정수 학생은 ‘모듈형 고밀도 펄스전원 기술’과 관련한 발표 논문이 세계 펄스파워 전문가로부터 높은 평가를 받은 공로를 인정받아 수상한 것으로 알려졌다. ▲ 배정수 학생(UST KERI 캠퍼스)이 ‘2019 IEEE 펄스파워 및 플라즈마 과학 컨퍼런스’에서 ‘Outstanding Student’ 논문상을 수상했다, 배정수 학생, 세계 학회서 연이어 인정받다 기대되는 차세대 연구자로 손꼽히는 이가 있다. UST KERI 캠퍼스의 배정수 학생이다. 이 학생은 최근 펄스파워 분야 세계 3대 학회 중 하나인 ‘2019 IEEE 펄스파워 및 플라즈마 과학 컨퍼런스(PPPS : Pulsed
[첨단 헬로티] 자동차 경량화에 대한 관심이 높아지고 있다. 여기에 주목받기 시작한 기술이 플라즈마 표면처리다. 플라즈마는 유독한 프라이머(Primer)를 사용하지 않아 친환경적이면서 자동차 표면 처리의 핵심 기술로 평가받고 있다. 현재 플라즈마 표면처리 시장은 유럽 등의 기업이 대부분 선점하고 있다. 이처럼 불리한 여건 속에서도 플라즈마를 전문으로 국내와 해외에 장비와 기술을 보급하며 그 기술력을 인정받는 국내 기업이 있다. 바로 에이이티피다. 이에 오토모티브 테크놀로지 엑스포에 참가한 이창훈 대표를 만나 자세한 이야기를 나눠보았다. ▲ 이창훈 에이이티피 대표 <사진 : 김동원 기자> Q. 오토모티브 테크놀로지 엑스포에서 참가한 이유가 궁금하다. 현재 자동차 경량화에 대한 관심이 높다. 자동차 경량화를 하기 위해서는 기존의 기계적인 접근 방법 대신 구조물 접착제를 사용하는 방법으로 가야 한다. 여기에 가장 기초적인 기술이 표면처리다. 유독한 프라이머(Primer)를 사용하지 않고, 접착제를 가지고 두 소재를 강하게 붙일 수 있다면 상당한 긍정적인 효과를 낼 것이다. 우리가 하는 플라즈마 표면처리는 이것을 가능하게 해준다. 이 부분을 소개하기 위해
물속에 존재하는 극미량의 은나노선과 은나노입자를 선별하고 농도를 측정하는 기술이 국내 연구진에 의해 개발됐다. 한국기계연구원 나노역학연구실 김덕종 박사팀은 ‘1차원 나노물질의 환경매체 내 거동 및 독성 모니터링기술 개발’을 통해 이 같은 성과를 거뒀다. 연구팀은 수용액 샘플 속에 존재하는 나노물질을 10분 간 작업 전극에 흡착한 후 1분 정도 전기화학적으로 산화시키면서 산화될 때의 전위값으로 은나노 물질의 종류를 판별했다. 또 전류 값으로는 은나노 물질의 농도를 측정하는 데 성공했다. 기존에 사용된 고주파 유도 결합 플라즈마 방법은 은나노 물질 종류의 구별 없이 농도 파악만 가능했다. 질산으로 은나노 물질을 녹여 이온화시키는 전처리 과정이 필요했기 때문에 하루 이상의 시간이 소요돼 현장 측정도 불가능 했다. 나노물질에서 은나노선과 은나노입자를 판별하는 기술은 고품질의 투명전극을 제조하는 분야 등에서 널리 활용될 수있다고 연구팀은 내다봤다. 최근 은나노선으로 그물구조를 만들어 투명하고 전기전도성이 우수한 투명전극을 생산하려는 움직임이 활발하다. 이 작업은 용액 공정으로 진행되는데, 은나노선이 시간이 경과함에 따라 은나노입자로 변하기 때문
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UPDATE: 2025년 11월 16일 17시 27분
