한국전기연구원은 전기물리연구센터 장성록 박사팀이 반도체 초정밀 공정에 활용할 수 있는 ‘바이어스용 맞춤형 펄스 전원(Tailored Pulse Power modulator for bias)’ 기술을 개발했다고 15일 밝혔다. 바이어스 장치는 플라스마 내부 이온이 반도체 웨이퍼에 충돌하도록 전압을 걸어 표면 식각, 세정, 박막 증착 공정을 수행하는 장치다. 기존에는 고주파(RF) 전원을 주로 활용했으나 파형의 단순성으로 미세 공정에서 정밀도가 떨어지는 문제가 있었다. 연구팀은 이를 보완하기 위해 펄스 전원 방식을 적용했다. 펄스 전원은 낮은 전력으로 충전 후 높은 전력으로 순간 방전하는 기술로, 전력 제어에 따라 웨이퍼를 원하는 깊이와 폭으로 가공할 수 있다. 특히 연구팀은 펄스 출력 시 발생하는 전력 손실을 줄이기 위해 ‘소프트 스위칭’ 기법을 적용했다. 전압과 전류가 0에 가까운 지점에서 스위칭을 유도해 소자의 부담을 줄이고 전력 손실을 78% 이상 감소시켰다. 이로써 발열 문제 해결, 전원장치 소형화, 전력 밀도 향상, 수명 연장 효과도 기대된다. 또한 경사형, 계단형 등 다양한 파형을 구현할 수 있는 맞춤형 펄스 전원 기술도 확보했다. 이는 반도체 공정
[첨단 헬로티] 한국전기연구원(이하 KERI, 원장 최규하) 전기물리연구센터 배정수 학생(UST KERI 캠퍼스)이 펄스파워 분야 세계 3대 학회 중 하나인 ‘2019 IEEE 펄스파워 및 플라즈마 과학 컨퍼런스(PPPS : Pulsed Power and Plasma Science Conference)’에서 ‘Outstanding Student’ 논문상을 수상했다, 배정수 학생은 ‘모듈형 고밀도 펄스전원 기술’과 관련한 발표 논문이 세계 펄스파워 전문가로부터 높은 평가를 받은 공로를 인정받아 수상한 것으로 알려졌다. ▲ 배정수 학생(UST KERI 캠퍼스)이 ‘2019 IEEE 펄스파워 및 플라즈마 과학 컨퍼런스’에서 ‘Outstanding Student’ 논문상을 수상했다, 배정수 학생, 세계 학회서 연이어 인정받다 기대되는 차세대 연구자로 손꼽히는 이가 있다. UST KERI 캠퍼스의 배정수 학생이다. 이 학생은 최근 펄스파워 분야 세계 3대 학회 중 하나인 ‘2019 IEEE 펄스파워 및 플라즈마 과학 컨퍼런스(PPPS : Pulsed
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