시장조사 업체인 IHS에 따르면, 자동차용 MEMS 디바이스 시장은 지난 해 13% 증가했는데 이는 자동차 시장 증가율보다
높은 수치이다. 여기서는 ST마이크로일렉트로닉스에서 출시한 초소형 6측 관성 측정 장치에 대해 알아 본다. 이 장치는
저잡음 및 높은 출력 해상도로 자동차 비안전 부문 애플리케이션을 위한 AEC-Q100 인증을 획득했다.
ST마이크로일렉트로닉스의 ASM330LXH는 초소형 6측 관성 측정 장치(IMU ; Inertial Measurement Unit)로, 위성 항법 시스템(GNSS) 신호가 약해도 위치 및 방향 최적화가 가능한 관성 센서를 필요로 하는 매립형 자동차 내비게이션에 이상적이다.
ASM330LXH와 같은 다축 자이로스코프 및 가속도 센서는 이전 위치에서의 시간, 가속, 방향 변화를 업데이트하여 현재 위치를 계산하는 정교한 DR(Dead Reckoning) 소프트웨어 알고리즘 구동의 원동력이 된다. 이 센서는 또한 전자 도로요금징수 및 기타 자동차 텔레매틱스 시스템용 온보드 장치에도 적합하다.
ST마이크로일렉트로닉스의 8인치 공정 라인 기반 팹에서 생산되는 ASM330LXH IMU는 3축 가속과 3축 각속도 센서(자이로스코프)를 모두 동일한 실리콘 상에서 집적화시키는, ST마이크로일렉트로닉스의 독자적인 셀마(THELMA) 미세가공 공정 기술이 적용되었으며, 3×3×1.1mm LGA (Land Grid Array) 패키지로 제공된다.
자이로스코프 및 가속도 센서 모두 2/4/8/16g 및 125/ 245/500/1000/2000dps의 풀스케일로 선택 가능하고, 사용자가 고를 수 있는 6가지 출력 데이터 속도에 동기화된 16비트 데이터 출력을 제공한다. 또한 SPI 디지털 출력으로, 센서 데이터를 마이크로컨트롤러에 오류 없이 전송할 수 있으며 I2C도 지원 가능하다. 파워 다운, 저전력, 일반 전력 모드를 갖추고 있어 에너지 효율성도 보장된다. 또한 이 장치는 자동차 비안전 부문 애플리케이션을 위한 AEC-Q100 인증을 획득했으며, ST마이크로일렉트로닉스의 견고한 설계 및 패키징 전문 기술을 통해 전자기 적합성도 보장된다.
ST마이크로일렉트로닉스 그룹 부사장 겸 맞춤형 MEMS 사업 본부장인 안톤 호프마이스터(Anton Hofmeister)는 “ST마이크로일렉트로닉스는 2006년에 8인치 MEMS 공정 라인을 설립했고, 2012년에 세계 최초로 자동차 인증을 받은 비안전 애플리케이션용 3축 MEMS 자이로스코프를 출시했다. 그리고 이번에는 소형, 정확도, 신뢰성을 모두 갖춘 6축 IMU를 출시하여 시장에서의 선도적 위치를 더욱 공고히 하게 됐다”고 말했다.
김희성 기자(eled@hellot.net)
