(주)기가레인
MAXIS300L 시리즈
기가레인 장비사업부(구 맥시스)는 Plasma Etcher를 전문 사업으로 하고 있다. 2000년 반도체용 Oxide Etcher를 개발, 반도체 시장에 진입한 이래 2006년 Deep Silicon Etcher를 개발하여 MEMS 시장에 진입했고 최근에 DTI 및 TSV 공정으로 반도체 시장에 접목되고 있다. 이 회사의 LED용 PSS Etcher 장비는 세계 시장 점유율 1위로 그 기술을 인증받고 있다. 이와 더불어 고객지향 Deep Silicon Etch와 LED Etch 공정 및 장비 DEMO를 위해 양산 FAB 수준의 평가 Lab.과 엔지니어링을 보유하고 있다. 이번 전시회에 출품하는 MAXIS300L 시리즈는 LED용 PSS와 GaN Etch에 사용되는 장비이다. 반도체 공정 장비의 기술을 바탕으로 자사에서 개발한 Plasma Source를 적용, LED 공정에 최적화된 챔버 디자인 및 특화된 트레이 기술을 채택하여 세계 최고 수준의 공정 능력을 확보했다. 이 제품은 지식경제부 ‘2012년 세계일류 상품’에 선정됐고 2013년 경기도지사상 ‘신기술개발 우수업체 상장’을 수상했다.
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