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카이스

  • 등록 2013.12.02 16:25:45
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카이스

confocaIDT 시리즈



Micro-Epsilon사의 ‘confocaIDT 시리즈’는 공초점방식(chromatic confocal)원리를 사용한 고성능 공초점 변위센서이다. 글라스와 같은 투명체, 경면체 검출에 적합하며, 작은 스팟크기(최소 6μm)와 최대 10nm의 고분해능, 0.6μm의 직선성을 실δ현하여 정밀한 측정에 특화된 변위센서이다. 이 제품은 최대 30도 Tilting에도 검출 가능하며, 최대 70hHz 검출속도를 가진다. 또한 멀티레이어를 가진 투명체 경우 레이어별 위치와 두께 측정을 할 수 있으며, 진공환경에서 사용 가능한 특수센서, 비좁은 설치공간을 위해 GRIN 렌즈를 이용한 미니어처 타입의 센서도 제공한다. 그뿐만 아니라 Ethernet 출력이 가능하며, 컨트롤러에 프로그램이 내장되어 있어 별도의 프로그램 설치 없이도 센서 설정과 변위 측정을 할 수 있다.









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