일반뉴스 UNIST-성대 연구진, 실리콘 대체 차세대 반도체 소재 상용화 앞당긴다

[헬로티] 촉진제로 액상원료 쓴 2차원 반도체 소재의 결정성 문제 해결 ▲액체전구체와 촉진제를 이용한 2차원 반도체 합성 모식도. (출처 : UNIST) 국내 연구진이 2차원 반도체 소재를 넓고 고르게 성장시키는 기술을 개발했다. 이 기술로 합성된 전이금속 칼코겐 화합물은 반도체 소자 제작에 쓰일 수 있을 정도로 크고, 결정성이 우수했다. 이 기술을 적용하면 실리콘을 대체할 차세대 반도체 소재 상용화가 앞당겨질 수 있다. UNIST 박혜성 교수팀과 성균관대학교 강주훈 교수팀은 고체 원료만을 이용하던 기존 방식과 달리 액상 원료와 고체 원료를 함께 쓰는 방식으로 결정성이 우수한 전이금속 칼코겐 화합물을 합성하는 기술을 개발했다. 액상원료를 쓸 때 합성된 소재의 결정성이 떨어지는 문제는 촉진제로 해결했다. 전이금속 칼코켄 화합물은 차세대 반도체 소재로 주목받고 있지만 대면적 합성이 까다롭다. 고온에서 증기로 변한 고체 전구체로 합성하는 방식은 증기 농도가 불규칙해 동일한 품질의 박막을 여러 개 얻기 힘들고 합성 가능한 크기도 한계가 있다. 이 때문에 액체 원료를 이용한 방식이 주목을 받고 있지만 액체 원료를 쓸 경우 합성된 소재의 결정성이 떨어지는 문제가 있다.

• 이동재 기자
• 2021-03-08 10:31