이엠에스, IGS 가스필터용 금속분말 국산화 성과 인정받아

2025.07.09 11:13:00

이창현 기자 atided@hellot.net

 

이엠에스(EMS)가 7월 3일부터 5일까지 일산 킨텍스에서 열린 ‘나노코리아 2025’에서 ‘나노산업기술부문’ 한국산업기술진흥원장상을 수상했다.

 

이엠에스는 에너지, 신소재, 스마트 기술을 핵심 분야로 연구개발과 사업화를 활발히 추진하고 있는 스타트업이다. 설립 3년 만에 총 23건의 특허 출원 및 등록, 반도체 가스필터 소재 분야 레전드 50+ 참여기업으로 선정되는 등 빠른 성과를 내고 있다. 고순도 금속분말, 특수 합금 및 기능성 코팅 분야에서 뛰어난 기술력을 바탕으로 국내 첨단 소재 산업의 국산화와 경쟁력 강화에 기여하고 있다.

 

이번 수상은 이엠에스가 개발한 반도체 생산장비 IGS 가스필터용 금속분말(플레이크)의 국산화 성과와 기술적 우수성을 인정받은 데 따른 것이다. 해당 제품은 기존 전량 수입에 의존하던 고순도 금속 플레이크 분말을 대체할 수 있는 기술로, 반도체 제조 공정의 핵심 부품인 가스필터의 성능과 신뢰성을 높이는 데 기여했다.

 

 

이엠에스의 플레이크 분말은 수입산 대비 산화도가 낮고 형상 안정성이 우수해 다공체 성형 시 불량률을 줄이고 저온 소결이 가능하다는 강점이 있다. 이를 통해 필터의 기공율 제어가 용이해지며, 필터 내부에서 3nm 이하 입자를 9LRV 수준으로 여과할 수 있는 성능을 구현한다.

 

이한찬 이엠에스 대표는 “이번 수상은 국산화와 기술자립을 향한 이엠에스의 지속적인 노력의 결실”이라며 “향후 전자파 차폐, MLCC 페이스트 등 첨단 분야로의 확장을 통해 글로벌 시장 진출에도 박차를 가하겠다”고 말했다.

 

한편, 이엠에스는 국내 IGS 모듈 제조사와 공동 기술개발을 진행하고 있으며 양산 전 실증평가를 완료한 뒤 본격적인 양산체계를 구축할 예정이다.

 

헬로티 이창현 기자 |

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