6인치·8인치 웨이퍼 모두 호환 지원...싱글 웨이퍼 SiC 에피택시 시스템 포트폴리오 확장

ASM이 새로운 듀얼 챔버 플랫폼인 'PE2O8 실리콘 카바이드 에피택시 시스템(PE2O8 Silicon Carbide Epitaxy System 이하 PE2O8 시스템)'을 공식 출시했다. 

 

전기차, 친환경 에너지, 데이터센터 등 고전력, 고효율 기술을 요하는 산업 시장이 세계적으로 부상하며 실리콘 카바이드(SiC) 반도체가 필수적인 요소로 자리 잡은 가운데, SiC 수요와 비용 절감 필요성이 증대돼 생산량을 늘릴 수 있는 8인치 SiC 기판으로 전환이 이뤄지고 있다. SiC 소자 제조 기업들은 SiC 에피택시 시스템의 이점을 활용하기 위한 고전력 소자를 설계하고 있다.

 

 

이러한 환경에 맞춰 새롭게 선보인 ASM의 PE2O8 시스템은 6인치와 8인치 웨이퍼 모두 호환 지원함으로써 기존 자사 싱글 웨이퍼 SiC 에피택시 시스템(6인치 PE1O6 및 8인치 PE1O8) 포트폴리오를 확장했다. 첨단 SiC 전력 반도체 소자 부문을 위해 설계된 PE2O8은 높은 공정 균일성과 생산성, 낮은 운영비용 및 정밀한 결함 관리가 특징인 대표적인 에피택시 시스템이다. 

 

독자적인 설계 방식을 기반으로 구현된 듀얼 챔버 PE2O8은 SiC 초정밀 제어 기술과 우수한 공정 균일성으로 SiC를 증착해 수율 및 처리량을 늘려 생산성을 향상시키는 동시에 총 운영비용은 절감한다. 더불어, 더욱 편리한 사고 예방적 유지보수 기능으로 가동 시간은 늘리고 예상치 못한 시스템 중단은 줄여준다. 해당 제품은 이미 SiC 전력 소자 제조 부문의 선두기업을 포함해 전 세계 고객 기업을 대상으로 제공되고 있다.

 

스티븐 라이터(Steven Reiter) ASM 플라즈마 및 Epi 사업부 총괄 겸 부사장은 “최근 고객 기업들이 6인치에서 8인치 웨이퍼 제조 방식으로 전환함에 따라 ASM은 실리콘 카바이드 전력 제품 부문의 중요한 변곡점에 서있다. 이때 정밀한 결함 관리를 통해 더 큰 웨이퍼에서 고품질 에피택시 공정을 유지하는 것이 중요하다. ASM은 고유한 챔버 설계 역량을 바탕으로 업계 내 기준이 되는 공정 균일성을 유지해 왔으며, 이번 PE2O8 시스템 출시를 통해 공정 관리 기술을 더욱 향상시키고 고객의 소유 비용을 절감함으로써 우리 시스템 역량을 한번 더 높였다”고 말했다. 

 

이영석 ASM코리아 대표는 “국내에서도 전기차 및 친환경 에너지 시장이 더욱 성장하고 있는 만큼, 원자층 증착기술(ALD)과 더불어 에피택시 기술은 ASM코리아에서도 중점적으로 다루고 있는 영역이다. 이번 신규 PE2O8 출시를 통해 포트폴리오를 확장할 수 있어 기쁘고, 향후 이를 바탕으로 국내 고객사의 더욱 다양한 니즈를 만족시키도록 최선을 다할 것이다”고 말했다. 

 

한편, 전기차 수요 증대와 함께 전반적인 SiC 웨이퍼 및 소자 수율 향상으로 SiC 에피택시 장비 시장은 최근 수년간 대폭 성장했으며, ASM은 2022년 이래 신규 SiC 에피택시 제품을 통해 싱글 웨이퍼 SiC 에피택시 시스템을 발전시켜 왔다. ASM코리아는 현재 경기 화성 동탄에 R&D센터 및 제조공장을 보유하며, 주력 제품인 원자층 증착장비(ALD), 플라즈마원자층증착(PEALD) 제품을 비롯해 에피택시(Epitaxy) 제품의 생산 및 원천기술 연구를 진행하고 있다. 

 

헬로티 서재창 기자 |