고분해능과 0.01N의 저측정력으로 변형되기 쉬운 소재나 고정도 부품 측정하는데 적합
전극의 양극과 음극을 절연하는 분리막의 두께 관리는 리튬이온 배터리(이차전지) 제조 공정에서 폭발 또는 화재 위험을 방지하기 위해 절대적으로 중요하다.
리튬이온 배터리 분리막 필름 두께 측정 시의 요구 정밀도가 3~5µm 정도에서 1µm 이하로 높아져, 요구 정밀도를 충족하는 수준까지 평면 측정자와 베이스면과의 평행도를 조정하는 것이 어려운 경우가 있다.
카바이드볼 스핀들을 장착한 초저측정력 고정도・고분해능 측정기를 이용하면, 필름과 같은 부드러운 소재의 두께도 변형을 신경 쓰지 않고 변형을 최소화하여 고정밀도로 측정할 수 있다. 또한, 평행도 오차로 인한 측정값의 흔들림이 제거되어 측정의 반복 정밀도도 향상된다.
Mitutoyo 고정도・고분해능 측정기 “라이트매틱” (좌: VL-50-B / 우: VL-50S-B)
측정범위: 0~50mm
분해능: 0.01/0.1/1.0μm
측정정도: (0.5+L/100)μm, L=임의 측정 길이(mm)
반복정도: σ＝0.05μm
미쓰도요(Mitutoyo)의 고정도・고분해능 측정기 ‘라이트매틱’은 0.01μｍ의 고분해능과 0.01N의 저측정력으로 변형되기 쉬운 소재나 고정도 부품을 측정하는데 적합하다. 스핀들이 모터를 통해 상하 구동하여 대상물에 닿는 즉시 정지하고, 그 후 일정한 측정력으로 최대값・최소값・흔들림값을 측정한다.
열팽창이 낮은 소재로 만들어진 스핀들과, 부식이 없는 세라믹으로 만들어진 측정 테이블(VL-50-B 해당)로 구성되어 유지보수에도 용이하다.
측정 원리
측정력에 스프링을 사용하지 않는 라이트매틱은 저울과 같은 ‘패럴렐 링크(Parallel Link)’ 구조를 사용하고 있다. 그림4와 같이 편가중을 가한 상태에서 대상물을 향해 접근, 대상물에 접촉하면 그림5와 같이 링크 구조가 평형 상태가 된다. 동시에 내부의 모터가 정지하여 일정한 측정력으로 측정한다.
한국미쓰도요ㅣ
헬로티 김진희 기자 |
