다온오토메이션은 스마트공장·자동화산업전 2024(Smart Factory+Automation World 2024, 이하 AW 2024)’에 참가해 독일 PRECITEC사 간섭계 영역 센서, 3D 공초점 라인 센서와 SSZN사 3D 라인 프로파일 센서를 선보였다. 
 
스마트공장·자동화산업전 2024은 아시아 최대 규모 스마트공장 및 자동화산업 전문 전시회다. 이번 전시회는 3월 27일부터 29일까지 총 3일간 코엑스 전시장 전관에서 개최되며, 올해는 450여개 기업이 2000여 부스 규모로 참여했다.
 

이번 AW 2024에서 다온오토메이션이 전시한 제품 중 주목받을 제품은 간섭계 영역 센서(Flying Spot Scanner-FSS310)다. FSS310은 반도체 산업군에서 웨이퍼 Warpage, Bow, TTV 모니터링, COW(Chip On Wafer) 측정·검사에 획기적인 솔루션을 제공하고 있다. 다양한 재질에 대한 정밀 측정이 가능하고, 짧은 검사 주기(12” 웨이퍼 기준 10초 이내)로 인라인 고속 측정이 가능해 제품 품질관리 비용 절감 효과를 제공한다.

 

Flying Spot Scanner(FSS310)는 물체의 색상·형태·재질에 영향없이 안정적인 측정, ROI Inspection(관심영역 지정 검사), 최대 스캔 영역 310mm, 각도 특성 ±1°, 측정 속도 최대 7만 Hz, Z Axis Resolution 1~2 nm, 스팟 사이즈 40um 등 특징이 있다. 

 

 

 

CLS2.0은 반도체, 전기·전자, 디스플레이, 자동차 등 정밀 표면 측정이 필요한 모든 분야에 3D 측정 및 결함검사를 수행하는 제품이다. 컨트롤러와 프로브가 결합된 올인원타입으로 설치가 편리하며, 동축 측정방식을 적용해 타사 기술 대비 높은 각도특성(±50°) 을 보유하고 있어 측정 시 음영 발생 문제를 해결한다.
 

CHRocodile CLS2.0 센서는 물체 색상·형태·재질에 영향없는 안정적인 측정, 미세 표면 형상 측정, 측정 정밀도 500nm, 최대 측정 허용 각도 ±50°, 측정 속도 최대 3만6000 Hz, 분해능 1200포인트/라인, 스팟 사이즈 2um 등 특징이 있다.

Since Vision은 라인업 전 제품이 블루 레이저를 사용한 삼각 측정 방식의 3D 라인 프로파일 센서다. 해상도는 3kHz, 6kHz며, 레이저 라인을 얇게 구현하므로 이미지 품질 향상의 장점이 있다. 빌트인 필터 제공(Interpolation, Median, Averaging, Smooth)되며, 컨트롤러 별도 제공으로 full FOV 시에도 빠른 속도를 보장한다. 다온오토메이션은 타 브랜드 대비 메리트 있는 가격 구성이 가능하다고 밝혔다. 

한편, AW 2024은 국제공장자동화전(aimex), 스마트팩토리엑스포(Smart Factory Expo), 한국머신비전산업전(Korea Vision Show)으로 구성돼 있다. 이번 전시회에서는 2024 산업 지능화 컨퍼런스, 2024 AI 자율제조혁신포럼, 머신비전 기술 세미나 등 다양한 부대행사를 통해 총 100여 개 전문세션이 진행된다. 

 

헬로티 서재창 기자 |