일반뉴스 [인터뷰] 오로스테크놀로지, 반도체 계측장비 경쟁력 위한 개발 동력 ‘이상 무’

헬로티 서재창 기자 | 오버레이 계측장비는 반도체 제조 공정에서 웨이퍼 표면에 여러 회로패턴 적층 시 회로 패턴간의 수직방향 정렬도를 제어하는 장비다. 반도체 제조 공정이 점차 미세화하면서, 반도체 정밀도는 수율에 직접적인 영향을 주는 요인이 됐다. 이에 오로스테크놀로지는 오버레이 계측장비를 국산화한 기업으로, 국내뿐 아니라 세계 시장에서 점유율을 높여가고 있어 주목된다. Q : 오로스테크놀로지에 대한 소개를 부탁한다. A : 오로스테크놀로지는 반도체 전 공정 계측장비 전문 업체로서 해외업체가 장악하고 있는 오버레이 계측장비 부분에서 유일하게 국산화 및 양산에 성공한 장비 기업이다. 지난 2011년에는 국내 최초로 12인치 오버레이 계측장비의 자체 개발에 성공한 이래로, 최근 5세대 장비까지 개발했다. 이외에도 소부장 강소기업100 선정, 세계일류상품 인증, 국무총리상 수상 등 정부 인증을 받은 기술력을 갖췄으며 60여개의 기술특허를 보유하고 있다. Q : 지난 상반기 당사가 주력해온 사업 및 성과가 궁금하다. A : 당사의 OL-900n 12인치 5세대 오버레이 장비를 2020년 말 양산 개시 후 고객사의 신규 메모리 FAB에 공급했다. 동 장비는 EUV

• 서재창 기자
• 2021-11-08 14:06