신성이엔지가 자체 개발한 장비용 제습 모듈 ‘EDM’의 누적 출하량이 첫 납품 약 2년 만에 100대를 돌파했다.
신성이엔지는 장비용 제습 모듈 ‘EDM(Equipment Dehumidify Module)’의 누적 출하량이 100대를 넘어섰다고 밝혔다. 회사는 2023년 자체 개발을 완료하고 지난해 3월 첫 납품을 시작했다.
EDM은 장비 내부의 파티클 필터링과 제습 기능을 하나로 통합한 모듈이다. 반도체 공정과 드라이룸 등 정밀 제조 환경에서 습도와 미세입자를 동시에 관리하기 위해 활용된다.
이 제품은 고성능 로터를 적용해 상대습도를 5%RH 수준까지 정밀하게 제어할 수 있다. 실시간 습도 감지 센서와 자동제어시스템을 통해 공정 중에도 안정적인 제습 환경을 유지하는 것이 특징이다. 제조 라인 내 설치가 쉽도록 초소형 사이즈로 설계됐다.
신성이엔지는 고객사의 수율 개선 요구에 대응하기 위해 EDM 개발에 착수했다. 반도체 공정에서 습도는 수율에 직접적인 영향을 미치는 핵심 변수다. 미세한 습도 변화도 불량률 상승으로 이어질 수 있어 공정별 정밀 제어가 중요하다.
회사는 2023년 자체 기술로 EDM 개발을 완료한 뒤 양산 체계를 갖췄다. 현재 EDM은 국내 주요 반도체 장비·소재 기업에 공급되고 있으며, 신성이엔지는 100대 출하를 계기로 공급처 확대와 후속 기술 고도화에 속도를 낼 계획이다.
김동권 신성이엔지 클린환경 연구실장은 “EDM은 1세대를 시작으로 2세대 슬림·모듈형까지 개발을 완료해 현장에 적용하고 있으며, 올해를 기점으로 3세대 초소형 EDM 개발을 마무리할 계획”이라고 말했다.
이어 “앞으로도 고객의 요구사항을 면밀히 반영한 혁신 제품으로 기술을 고도화하는 동시에 EDM의 적용 범위를 반도체 공정장비를 넘어 다양한 산업 영역으로 넓혀 나가겠다”고 밝혔다.
신성이엔지는 1977년 설립된 클린룸 및 에너지 솔루션 전문기업이다. 반도체와 디스플레이 등 첨단 산업의 생산 환경 구축부터 신재생에너지 사업까지 솔루션을 제공하고 있으며, 연매출 약 5700억 원 규모의 코스피 상장사다.
헬로티 이동재 기자 |
