세계 최초의 나노급 미세진동 실험실이 중국 허베이성 슝안신구(河北雄安新区)에서 정식으로 가동을 시작했다.
중국 국투그룹(国投集团) 산하 중국전자공정설계원(中国电子工程设计院股份有限公司)은 1일 (현지 시간) 이 같은 사실을 발표하며, 해당 실험실이 첨단 전자 제조 분야에서 국가급 과학 기술 혁신 플랫폼으로 구축되었다고 밝혔다.
중국전자공정설계원의 양광밍(杨光明) 최고기술책임자는 "나노급 미세진동 실험실은 반도체 제조, 항공우주, 정밀기기, 바이오 의약 등 중점 분야에 전방위적으로 기여할 것"이라며, "이를 통해 중국의 고정밀 제조업 경쟁력과 장비 수준을 함께 향상시킬 것"이라고 설명했다.
이 실험실의 핵심 장비는 중국이 자체 개발한 세계 최대 크기, 최고 정밀도의 미세진동 시뮬레이션 실험대다. 실험대의 평면 크기는 4m x 4m에 달하며, 자체 무게 약 50톤, 설계 적재 능력은 최대 20톤이다. 진동 정밀도는 나노급을 돌파했으며, 최소 진동 폭은 지구 자체의 맥동보다 훨씬 낮아 대형 반도체 장비 전체 및 위성의 실제 크기 탑재체 테스트 수요를 모두 충족시킬 수 있다.
실험대에는 중국전자공정설계원이 자체 개발한 공기 스프링 능동 제진 시스템이 적용되어 지반과 건축 구조물의 환경 진동 간섭을 효율적으로 차단하고, 실험대 위에 초정밀 미세진동 환경을 구축한다. 또한 고정밀 리니어 모터 액추에이터를 통해 넓은 주파수 범위에서 0.001갈(Gal)에서 5갈까지의 가속도를 정밀하게 출력할 수 있다. 이는 미세한 배경 환경 진동을 정확히 시뮬레이션하며 전자 정보, 항공우주 등 핵심 분야에서 요구하는 모든 주파수 및 진폭 범위를 포괄한다.
동시에 실험대는 사인파, 랜덤파, 스위프파 등 다양한 파형 시뮬레이션 능력을 갖추고 있어 단일 방향의 정밀 시뮬레이션과 3방향 동시 시뮬레이션이 모두 가능하다. 이를 통해 특정 주파수에 대한 세밀한 분석뿐만 아니라, 복잡한 실제 환경에서 여러 자유도가 결합된 무작위 진동 시나리오를 재현할 수 있다. 이는 과학 연구 및 장비 검증에 실제 작업 조건과 매우 유사하고 유연하게 제어 가능한 실험 조건을 제공한다.
양광밍 최고기술책임자는 "나노급 미세진동 실험실의 완공 및 가동은 중국의 여러 전략적 산업 분야에서 실험 검증의 걸림돌을 해결했다"고 말했다. 그는 이 실험실이 미세진동 시험 방법, 정밀 장비 진동 허용 기준, 제진 장치 평가 시스템 등 여러 분야에서 중국의 기술 및 시장 공백을 메웠으며, 전자 공정, 항공우주 정보 등 분야의 첨단 장비 자주 개발에 핵심적인 기초 지원을 제공한다고 덧붙였다.
헬로티 이동재 기자 |
